[发明专利]一种真空蒸发镀膜方法、混合物、制备光学薄膜的方法在审
| 申请号： | 201811355439.0 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111188013A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 马道远 | 申请（专利权）人： | 深圳市融光纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种真空蒸发镀膜方法、混合物、制备光学薄膜的方法，所述方法包括：在真空蒸发设备中设置蒸镀材料及热传导材料；对所述蒸镀材料及热传导材料进行加热，以使得所述蒸镀材料蒸发至待成膜区域成膜，所述热传导材料留置于所述真空蒸发设备中。通过上述方式，本申请能够提高成膜表面的光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 镀膜 方法 混合物 制备 光学薄膜 | ||
【主权项】：
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