[发明专利]一种半密闭热风装置及其溶液涂布设备

摘要

本发明涉及一种半密闭热风装置，包括进风口、蓄风箱、进风阻尼箱、导风加热板、半密闭箱体、排风箱以及出风口，在进风阻尼箱上设置了多个用于通气的气路小孔，在导风加热板上设置加热装置给流经的气体进行加热，外部气体经进风口进入蓄风箱，再经过进风阻尼箱的气路小孔进行导流，导流后的气体再进入导风加热板被加热和进一步地导流后吹向位于半密闭箱体内的待处理基底的表面，半密闭箱体内的气体依次经由排风箱和出风口后排出。本发明还公开一种使用该装置的溶液涂布设备。本发明能够提供均匀和稳定的热风场对基底表面薄膜进行热风吹干，便于热风处理后的薄膜中溶剂的挥发。