[发明专利]一种半密闭热风装置及其溶液涂布设备

权利要求书

1.一种半密闭热风装置，其特征在于，包括进风口（201）、蓄风箱（202）、进风阻尼箱（203）、导风加热板（204）、半密闭箱体（205）、排风箱（208）以及出风口（209），在所述进风阻尼箱（203）上设置了多个用于通气的气路小孔（211），在所述导风加热板（204）上设置加热装置给流经的气体进行加热，外部气体经进风口（201）进入蓄风箱（202），再经过所述进风阻尼箱（203）的气路小孔（211）进行导流，导流后的气体再进入导风加热板（204）被加热和进一步地导流后吹向位于半密闭箱体（205）内的待处理基底的表面，所述半密闭箱体（205）内的气体依次经由排风箱（208）和出风口（209）后排出。

2.如权利要求1所述的半密闭热风装置，其特征在于，所述半密闭热风装置还包括导风板（206）和出风阻尼箱（207），所述导风板（206）设置在待处理基底的下方，所述出风阻尼箱（207）设置在导风板（206）的下部且位于排风箱（208）的上方，在所述出风阻尼箱（207）上也设置了多个用于通气的气路小孔（211），所述半密闭箱体（205）内的气体依次经由导风板（206）、出风阻尼箱（207）、排风箱（208）和出风口（209）后排出。

3.如权利要求1或2所述的半密闭热风装置，其特征在于，所述气路小孔（211）的出风侧设置闭合和打开的风门。

4.如权利要求3所述的半密闭热风装置，其特征在于，所述风门包括多个相互闭合的弹片（303），当位于所述气路小孔（211）进风侧的气体气压大于弹片（303）设定的阈值时，所述弹片（303）在气压作用下相互分开，所述气路小孔（211）被开启。

5.如权利要求1所述的半密闭热风装置，其特征在于，在所述导风加热板（204）以及导风板（206）上分别设置至少一层网格状的格栅。

6.如权利要求1所述的半密闭热风装置，其特征在于，在所述半密闭箱体（205）内设置了涂布平台（106），待处理基底放置在涂布平台（106）上，所述涂布平台（106）从设置在半密闭箱体（205）侧面的孔洞（210）进出。

7.如权利要求6所述的半密闭热风装置，其特征在于，孔洞（210）的开口位置根据热风吹至基底上的角度的不同需要灵活调节，以改变半密闭热风装置（105）与涂布平台（106）间的夹角；对涂布平台（106）通过后的多余孔洞（210）空间进行封闭或在孔洞处设置自动闭合和开启的孔洞门进行封闭。

8.如权利要求1所述的半密闭热风装置，其特征在于，在所述进风口（201）和出风口（209）处分别设置用于检测气体进出量的气体流量计。

9.一种溶液涂布设备，其特征在于，所述溶液涂布设备包括涂布模头（101）、模头升降台（102）、涂布平台（106）以及传送装置（107），所述涂布模头（101）设置在模头升降台（102）上，在所述模头升降台（102）的侧部还设置了如权利要求1至8中任意一种所述的半密闭热风装置（105），所述涂布模头（101）以及半密闭热风装置（105）相互分开且分别设置在涂布平台（107）的上方，放置在涂布平台（106）上的待涂布的基底（108）被涂布模头（101）涂布后被传送装置（107）输送到半密闭热风装置（105）处进行后处理，在所述传送装置（107）的驱动下，所述涂布平台（106）与模头升降台（102）和半密闭热风装置（105）之间分别产生相对移动，所述模头升降台（102）调节涂布模头（101）与待涂布的基底（108）之间的高度；在所述涂布模头（101）上连接有与涂布溶液相通的导管（103）。

10.如权利要求9所述的溶液涂布设备，其特征在于，所述涂布模头（101）通过导管（103）与注射泵（104）接通，所述注射泵（104）通过管路（110）与原料瓶（109）接通，在所述原料瓶（109）中盛装有待涂布的溶液。