[发明专利]制造蒸镀掩模的金属板及其检查方法和制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和蒸镀掩模装置在审
| 申请号： | 201811345197.7 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109778115A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 池永知加雄;冈本英介;牛草昌人;初田千秋;冈宏树;松浦幸代 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王博;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及制造蒸镀掩模的金属板及其检查方法和制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和蒸镀掩模装置。金属板具备具有金属板的长度方向和与长度方向垂直的宽度方向的表面。在使光入射到表面时观测到的反射光之中，在与表面垂直的至少一个平面内以45°±0.2°的角度从表面射出的反射光的表面反射率为8％以上且25％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 金属板 制造 反射光 长度方向垂直 表面反射率 表面垂直 光入射 射出 观测 检查 | ||
【主权项】：
1.一种金属板，其为用于制造蒸镀掩模的金属板，其中，所述金属板具备具有所述金属板的长度方向和与所述长度方向垂直的宽度方向的表面，在与所述表面垂直的至少一个平面内以45°±0.2°的入射角度使光入射到所述表面时所测定的、所述光的基于规则反射的表面反射率为8％以上且25％以下。
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