[发明专利]制造蒸镀掩模的金属板及其检查方法和制造方法、蒸镀掩模及其制造方法和蒸镀掩模装置

权利要求书

1.一种金属板，其为用于制造蒸镀掩模的金属板，其中，

所述金属板具备具有所述金属板的长度方向和与所述长度方向垂直的宽度方向的表面，

在与所述表面垂直的至少一个平面内以45°±0.2°的入射角度使光入射到所述表面时所测定的、所述光的基于规则反射的表面反射率为8％以上且25％以下。

2.如权利要求1所述的金属板，其中，所述表面反射率为8％以上且20％以下。

3.如权利要求1所述的金属板，其中，将在与所述表面和所述长度方向垂直的第一平面内以45°±0.2°的入射角度使所述光入射到所述表面时所测定的、所述光的基于规则反射的所述表面反射率称为第一反射率，

将在与所述表面和所述宽度方向垂直的第二平面内以45°±0.2°的入射角度使所述光入射到所述表面时所测定的、所述光的基于规则反射的所述表面反射率称为第二反射率，

所述第一反射率和所述第二反射率的平均值为8％以上且25％以下。

4.如权利要求3所述的金属板，其中，所述第一反射率和所述第二反射率的平均值为8％以上且20％以下。

5.如权利要求3所述的金属板，其中，所述金属板包括在从所述宽度方向的一端到另一端排列的第一区域、第二区域和第三区域，所述第一区域、第二区域和第三区域各自在所述宽度方向上具有相同的长度，

所述第一反射率和所述第二反射率分别作为在第一区域、第二区域和第三区域所测定的反射率的平均值获得。

6.如权利要求3所述的金属板，其中，所述第一反射率除以所述第二反射率而得到的值为0.70以上1.30以下。

7.如权利要求1～6中任一项所述的金属板，其中，所述金属板的厚度为100μm以下。

8.如权利要求1～6中任一项所述的金属板，其中，所述金属板由含镍的铁合金构成。

9.如权利要求1～6中任一项所述的金属板，其中，所述金属板的所述表面具有在所述长度方向上延伸的两个以上的轧制条纹，或者，金属板的所述表面存在具有与所述长度方向垂直的方向的两个以上的油坑。

10.如权利要求1～6中任一项所述的金属板，其中，所述金属板用于下述目的：将贴附于所述金属板的所述表面的抗蚀膜曝光和显影而形成第一抗蚀图案，对所述金属板的所述表面中的未被所述第一抗蚀图案覆盖的区域进行蚀刻，制造所述蒸镀掩模。

11.如权利要求10所述的金属板，其中，所述金属板用于下述目的：将在1000Pa以下的环境下贴附于所述金属板的所述表面的抗蚀膜曝光和显影而形成第一抗蚀图案，对所述金属板的所述表面中的未被所述第一抗蚀图案覆盖的区域进行蚀刻，制造所述蒸镀掩模。

12.如权利要求1～6中任一项所述的金属板，其中，所述表面反射率作为相对于使所述光直接入射到检测器时所测定的强度的比例而算出。

13.如权利要求1～6中任一项所述的金属板，其中，所述表面反射率是基于下述反射光的第一面反射率，所述反射光是使光入射到所述金属板的表面中的构成蒸镀掩模的有机EL基板侧的面的第一面时被观测到的。

14.一种金属板的检查方法，其为用于制造蒸镀掩模的金属板的检查方法，

所述金属板具备具有所述金属板的长度方向和与所述长度方向垂直的宽度方向的表面，

所述检查方法具备下述工序：

测定工序，对使光入射到所述表面时测定观测的反射光的表面反射率进行测定；和

判定工序，在所述反射光之中在与所述表面垂直的至少一个平面内以45°±0.2°的角度从所述表面射出的所述反射光的所述表面反射率为8％以上且25％以下的情况下，判定所述金属板为合格品。