[发明专利]一种抑制石榴石结构闪烁晶体开裂的温场结构及其生长方法有效
| 申请号： | 201811325021.5 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109280973B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 丁雨憧;刘军;屈菁菁 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | C30B29/28 | 分类号： | C30B29/28;C30B15/14;C30B33/02 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抑制石榴石结构闪烁晶体开裂的温场结构及其生长方法，温场结构包括晶体生长腔室，晶体生长腔室上方设有盖板，盖板中心设有提拉操作通孔；在晶体生长腔室内底部中心设有坩埚，中频感应线圈环设于晶体生长腔室外部并与坩埚对应的位置，中频感应线圈接中频感应电源以在交变电流作用下对坩埚加热；在晶体生长腔室内位于坩埚正上方设有电阻加热元件，电阻加热元件与电源连接以为晶体降温阶段提供热量补偿。本发明中频感应线圈可以满足晶体生长所需的温场条件，电阻加热元件可为晶体降温阶段提供热量补偿，可在晶体拉脱后对晶体进行原位退火，并能降低晶体的冷却速度和温度梯度，可以有效抑制晶体开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 石榴石 结构 闪烁 晶体 开裂 及其 生长 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抑制石榴石结构闪烁晶体开裂的温场结构，包括由保温材料构成的晶体生长腔室，晶体生长腔室上方设有盖板以将晶体生长腔室封闭，盖板中心设有提拉操作通孔；在晶体生长腔室内底部中心设有坩埚，中频感应线圈环设于晶体生长腔室外部并与坩埚对应的位置，中频感应线圈接中频感应电源以在交变电流作用下对坩埚加热；其特征在于：在晶体生长腔室内位于坩埚正上方设有悬空的电阻加热元件，电阻加热元件形成闭合的具有一定高度的圆环结构以形成供晶体通过的提拉通道；电阻加热元件与电源连接以为晶体降温阶段提供热量补偿，实现晶体的原位退火。
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