[发明专利]纳米铜焊膏、其制备方法及铜-铜键合的方法有效
申请号: | 201811307559.3 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN109317859B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 张兆强;亓恬珂;肖斐 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | B23K35/30 | 分类号: | B23K35/30;B23K35/40 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明属于电子材料技术领域,公开了一种纳米铜焊膏、其制备方法以及利用该种纳米铜焊膏实现铜‑铜键合的方法。本发明所提供的纳米铜焊膏,以质量百分含量计包含纳米铜颗粒50~90%,醇胺5~25%,粘度调节剂0~45%。使用本发明所提供的纳米铜焊膏进行铜‑铜键合,不但可降低烧结温度,还可避免纳米铜颗粒的氧化和团聚;在200℃空气气氛中即可完成烧结并得到具有较高剪切强度的铜‑铜互连结构。 | ||
搜索关键词: | 纳米 铜焊 制备 方法 铜键合 | ||
【主权项】:
1.一种纳米铜焊膏,其特征在于,以质量百分含量计,包含:纳米铜颗粒:50~90%,醇胺5~25%,粘度调节剂0~45%。
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