[发明专利]一种制备多晶硅薄膜的装置和方法

摘要

本发明公开了一种制备多晶硅薄膜的装置和方法，属于多晶硅薄膜生产技术领域，本发明公开了一种制备多晶硅薄膜的装置，包括放置架、偏移杆、支撑底座和支撑柱，放置架上侧设有准分子激光器激发出位置固定的脉冲激光束，放置架上通过螺纹杆一连接放置板，放置架下侧铰接偏移杆，偏移杆铰接螺纹连接螺纹杆一的滑块一，放置架通过滑动柱和固定柱导向固定连接支撑底座，支撑底座通过U型钢板连接支撑柱，支撑柱内设有行走轮；本发明还公开了上述制备多晶硅薄膜的装置的使用方法，本发明的制备多晶硅薄膜的装置和方法大大提高了制备多晶硅薄膜的效率，使用时可以配合不同型号的准分子激光器进行处理不同大小的玻璃基板，且可快速激光对焦。

主权项

1.一种制备多晶硅薄膜的装置，包括放置架（1）、偏移杆（5）、支撑底座（14）和支撑柱（16），所述放置架（1）上侧设有准分子激光器激发出位置固定的脉冲激光束，其特征在于，所述放置架（1）上设有贯通槽（2），所述贯通槽（2）内滑动连接滑板（23），所述滑板（23）固定连接液压伸缩杆（3），液压伸缩杆（3）连接伺服油缸（4）的输出端，液压伸缩杆（3）上设有位移传感器一（31），伺服油缸（4）固定安装在放置架（1）上，滑板（23）之间设有导向杆（26）和丝杆（24），所述导向杆（26）固定连接滑板（23），丝杆（24）通过轴承转动连接滑板（23），且贯穿滑板（23），所述丝杆（24）通过联轴器连接变频电机（22）的输出端，所述变频电机（22）固定连接滑板（23），所述导向杆（26）滑动连接放置板（25）下端面固定连接的安装耳（28），安装耳（28）对称设置，另一侧的安装耳（28）螺纹连接丝杆（24），所述放置板（25）的两端设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接L型固定板（27），所述L型固定板（27）固定连接拉伸弹簧（29），拉伸弹簧（29）另一端固定连接滑动槽的内壁，所述放置架（1）下端面铰接偏移杆（5），偏移杆（5）下端面铰接滑块一（9），滑块一（9）螺纹连接设有反向螺纹的螺纹杆一（10），螺纹杆一（10）的两端通过轴承转动连接固定板（11），且贯穿固定板（11），固定板（11）固定连接支撑底座（14），螺纹杆一（10）的右端面固定连接把手一（12），所述螺纹杆一的左侧固定安装锥齿轮二（20），所述锥齿轮二（20）啮合连接锥齿轮一（19），所述锥齿轮一（19）固定安装在传动轴上，锥齿轮一（19）以传动轴的中心为中心前后对称设置，所述传动轴通过轴承转动连接L型安装板（18），且贯穿L型安装板（18），所述L型安装板（18）固定连接固定板（11），后侧设有的锥齿轮一（19）啮合连接锥齿轮三，所述锥齿轮三固定安装在螺纹杆三上，所述螺纹杆三和螺纹杆一前后对称设置，且安装方式相同。