[发明专利]一种机械手定位装置

摘要

本发明涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种机械手定位装置。该定位装置的滑板可移动地设置在基板上，驱动组件驱动滑板在垂直方向上往复运动。定位组件设置在滑板的顶端，用于为机械手进行水平向定位，减震组件连接在滑板与定位组件之间，用于吸收机械手与定位组件接触时产生的冲击振动。该滑板能在驱动组件的驱动作用下在垂直方向上往复运动，有效提高了垂向往复运动时的重复性精度，从而减少垂向运动对水平向重复定位精度的影响，提高机械手的水平向重复定位精度；通过设置减震组件，可有效吸收机械手定位时产生的冲击振动，进一步提高机械手的水平向重复定位精度，从而提高硅片交接和上片位置重复性精度。