[发明专利]一种蒸镀控制方法及蒸镀控制系统有效
| 申请号： | 201811261805.6 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN111101098B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘全宝;李承皇;李浩永;曹景博 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀控制方法及蒸镀控制系统，涉及显示技术领域。在本发明实施例中，通过在蒸镀控制系统中增加补偿器，可以在确定当前处于更换晶振片的时段时，补偿器对微天平发送的检测信号进行补偿，以使蒸镀控制器可以根据补偿后的检测信号，控制蒸发部件中待蒸镀材料当前的实际蒸发速率，与更换晶振片之前待蒸镀材料的实际蒸发速率相同，避免了因晶振片的更换而引起实际蒸发速率的波动，提高了在晶振片的更换过程中待蒸镀材料的实际蒸发速率的稳定性，从而提高蒸镀工艺的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
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