[发明专利]一种蒸镀控制方法及蒸镀控制系统

权利要求书

1.一种蒸镀控制系统，包括：蒸镀控制器、以及分别与所述蒸镀控制器电连接的蒸发部件和微天平；所述蒸发部件中设置有待蒸镀材料；所述微天平包括多个晶振片；其特征在于，所述蒸镀控制系统还包括：连接于所述微天平与所述蒸镀控制器之间的补偿器，以及分别与所述补偿器和所述微天平电连接的计算机；

所述微天平，用于通过所述晶振片检测到所述待蒸镀材料的实际蒸发速率后生成检测蒸发速率，并将用于表示所述检测蒸发速率的检测信号发送至所述补偿器；

所述补偿器，用于在确定当前未处于更换晶振片的时段时，将接收到的所述检测信号传输至所述蒸镀控制器，以使所述蒸镀控制器根据所述检测信号，控制所述蒸发部件中所述待蒸镀材料的实际蒸发速率；在接收到所述计算机发送的晶振片更换信号时，确定更换晶振片的时段；在确定当前处于更换晶振片的时段时，对当前接收到的所述检测信号进行补偿后发送至所述蒸镀控制器，以使所述蒸镀控制器控制所述蒸发部件中所述待蒸镀材料当前的实际蒸发速率，与更换晶振片之前所述待蒸镀材料的实际蒸发速率相同；

还包括机械部件，设置在所述微天平内部，或所述计算机与所述微天平之间，用于在接收到所述计算机发送的晶振片更换信号时，更换所述微天平中的晶振片。

2.如权利要求1所述的蒸镀控制系统，其特征在于，

所述计算机，还用于向所述蒸镀控制器告知目标速率，使得所述蒸镀控制器控制所述待蒸镀材料的实际蒸发速率达到目标速率。

3.如权利要求1所述的蒸镀控制系统，其特征在于，所述补偿器，具体用于在接收到所述计算机发送的更换起始信号时，确定晶振片更换开始；在接收到所述计算机发送的更换结束信号时，确定晶振片更换结束；

其中，所述更换起始信号为：所述计算机在确定晶振片更换开始时向所述补偿器发送的，所述更换结束信号为：所述计算机在确定晶振片更换结束时向所述补偿器发送的。

4.如权利要求1所述的蒸镀控制系统，其特征在于，

所述补偿器，具体用于根据晶振片更换前接收到的检测信号，对当前接收到的检测信号进行补偿。

5.如权利要求1所述的蒸镀控制系统，其特征在于，所述补偿器为复杂可编辑逻辑器件或现场可编辑门阵列。

6.如权利要求1-5任一项所述的蒸镀控制系统，其特征在于，所述蒸发部件包括：用于放置所述待蒸镀材料的坩埚；

所述坩埚包括一个喷嘴，所述坩埚为点型坩埚；或者，所述坩埚包括多个所述喷嘴，所述坩埚为线型坩埚或T型坩埚；

其中，所述待蒸镀材料从所述喷嘴中蒸发出去。

7.一种蒸镀控制方法，其特征在于，采用如权利要求1-6任一项所述的蒸镀控制系统实现；所述方法包括：

补偿器在接收到微天平发送的用于表示检测蒸发速率的检测信号时，根据接收到的计算机发送的晶振片更换信号，确定当前是否处于更换晶振片的时段；其中，所述检测蒸发速率为：所述微天平通过晶振片检测到待蒸镀材料的实际蒸发速率后生成的；

若是，所述补偿器对当前接收到的检测信号进行补偿后发送至蒸镀控制器；

所述蒸镀控制器根据补偿后的检测信号，控制蒸发部件中所述待蒸镀材料的当前实际蒸发速率，与更换晶振片之前所述待蒸镀材料的实际蒸发速率相同。

8.如权利要求7所述的蒸镀控制方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述补偿器在确定当前未处于更换晶振片的时段时，将接收到的检测信号发送至所述蒸镀控制器；

所述蒸镀控制器根据所述检测信号，控制所述蒸发部件中所述待蒸镀材料的实际蒸发速率。

9.如权利要求7所述的蒸镀控制方法，其特征在于，所述补偿器对所述检测信号进行补偿，具体包括：

所述补偿器根据晶振片更换前接收到的检测信号，对当前接收到的检测信号进行补偿。

10.如权利要求7-9任一项所述的蒸镀控制方法，其特征在于，所述补偿器根据接收到的计算机发送的晶振片更换信号，确定当前是否处于更换晶振片的时段，具体包括：

所述补偿器确定是否接收到所述计算机发送的更换起始信号；其中，所述更换起始信号为：所述计算机在确定晶振片更换开始时向所述补偿器发送的；

若接收到，则所述补偿器确定晶振片更换开始；

所述补偿器确定是否接收到所述计算机发送的更换结束信号；其中，所述更换结束信号为：所述计算机在确定晶振片更换结束时向所述补偿器发送的；

若接收到，则所述补偿器确定晶振片更换结束。