[发明专利]测量装置有效
| 申请号： | 201811256286.4 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109708602B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 渡边一弘;菅原洋纪 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B11/06;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量装置，用于精度良好地测量在基板上成膜的蒸镀材料的膜厚。该测量装置具备多个支承件，其支承基板的周缘；以及膜厚测量器，其测量在基板上形成的蒸镀膜的膜厚，多个支承件包括：多个第一支承件，其支承基板的第一边；以及多个第二支承件，其支承与第一边对置的第二边，多个第一支承件以第一间隔或比第一间隔窄的第二间隔设置，多个第二支承件以第三间隔或比第三间隔窄的第四间隔设置，膜厚测量器测量基板上测量区域的膜厚，上述测量区域为从与第一间隔对应的第一区域至与第三间隔对应的第三区域的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置具备：多个支承件，其支承基板的周缘；以及膜厚测量器，其测量在所述基板上形成的膜的膜厚，所述多个支承件包括：多个第一支承件，其支承所述基板的第一边；以及多个第二支承件，其支承与所述第一边对置的第二边，所述多个第一支承件以第一间隔或比所述第一间隔窄的第二间隔设置，所述多个第二支承件以第三间隔或比所述第三间隔窄的第四间隔设置，所述膜厚测量器测量所述基板上测量区域的膜厚，所述测量区域为从与所述第一间隔对应的第一区域至与所述第三间隔对应的第三区域的区域。
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