[发明专利]柔性光波导及其制备方法在审
| 申请号： | 201811251369.4 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109239844A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;叶柳顺;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138;G02B6/122 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种柔性光波导及其制备方法，包括：提供基板，并在基板上依次形成牺牲层和第一光限制层；在第一光限制层上形成光刻胶层，再对光刻胶层进行曝光、显影，以曝露第一部分的第一光限制层；在剩余的光刻胶层上覆盖光传输层，得到至少一个光传输单元；在光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；提供柔性衬底，将预制体转印于柔性衬底上，得到柔性光波导。该柔性光波导包括柔性衬底以及依次形成于柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层，第一光限制层和第二光限制层之间包埋有至少一个光传输单元。本发明柔性光波导是一种类皮肤超薄光波导，可以实现柔性电子器件的高度集成且微型化，用于柔性可穿戴医疗电子器件时可以提高人体舒适感。 | ||
| 搜索关键词： | 光限制层 柔性光波导 衬底 光传输单元 光刻胶层 预制体 基板 制备 柔性电子器件 微型化 电子器件 高度集成 光传输层 光波导 可穿戴 刻胶层 牺牲层 包埋 覆盖 曝露 显影 转印 皮肤 曝光 医疗 | ||
【主权项】：
1.一种柔性光波导的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：(1)提供基板，并在所述基板上依次形成牺牲层和第一光限制层；(2)在所述第一光限制层上形成光刻胶层，再对所述光刻胶层进行曝光、显影，以曝露第一部分的第一光限制层；(3)在剩余的光刻胶层上覆盖光传输层，得到至少一个光传输单元；(4)在所述光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；(5)提供柔性衬底，将所述预制体转印于所述柔性衬底上，得到柔性光波导。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江清华柔性电子技术研究院，未经浙江清华柔性电子技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811251369.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
