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[发明专利]柔性光波导及其制备方法-CN201811251388.7有效
发明人：冯雪;叶柳顺;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G02B6/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性光波导及其制备方法，包括：提供基板，并在基板上形成牺牲层；在牺牲层上依次形成第一光限制层、光传输层；在光传输层上形成光刻胶层，对光刻胶层进行曝光、显影、刻蚀，得到光传输单元；在光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；提供柔性衬底，将预制体转印于柔性衬底上，得到柔性光波导。该柔性光波导包括柔性衬底以及依次形成于柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层，第一光限制层和第二光限制层之间包埋有光传输单元。本发明的柔性光波导是一种类皮肤超薄光波导，与人体皮肤贴合度很好，可以实现柔性电子器件的高度集成且微型化，用于柔性可穿戴医疗电子器件时可以提高人体舒适感。
柔性波导及其制备方法

[发明专利]超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法-CN201910177997.0有效
发明人：祁一洲;叶柳顺;陈颖 -专利权人：浙江荷清柔性电子技术有限公司
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： A61B5/296 文献下载
摘要：一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，该方法包括如下步骤：提供支撑板，在支撑板上设置垫片胚层；在垫片胚层上制作阵列布设的电极片及导线，每一电极片与一导线相连；在导线上形成保护层，使保护层覆盖于导线上；提供柔性基板，将垫片胚层与支撑板剥离，然后将垫片胚板转移至柔性基底上，并使电极片及导线位于垫片胚层远离柔性基底的一侧；去除电极片区域及保护层区域外的垫片胚层，使垫片胚层在电极片区域下形成第一垫片层，以及在保护层区域下形成第二垫片层。该制备方法得到的超薄柔性阵列式表面肌电电极具备很好的延展性，可测得表皮小区域、大曲率、大变形位置的肌电信号。
超薄柔性阵列表面电极制备方法

[发明专利]一种超薄晶圆及柔性芯片制备方法及柔性芯片-CN202211567331.4在审
发明人：冯雪;陈颖;简巍;叶柳顺 -专利权人：清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本公开涉及一种超薄晶圆及柔性芯片制备方法及柔性芯片，所述方法包括：对所述晶圆的晶圆背面进行机械研磨，其中，所述晶圆的晶圆正面设置有保护膜；在所述晶圆的晶圆厚度降低到目标研磨厚度的情况下，将晶圆置入化学腐蚀溶液，以对所述晶圆背面进行化学腐蚀；在化学腐蚀的时长达到预设时长的情况下，对晶圆进行划片，得到多颗芯片，并将各颗芯片转移到临时衬底上；对所述芯片进行反应离子刻蚀，以将所述芯片的芯片厚度降低到目标厚度；将所述芯片转印到柔性衬底，得到柔性芯片。本公开实施例实现最大限度地降低芯片厚度，不削弱器件的正常性能，并且能够有效消除前序机械磨削在材料内引入的损伤，削弱超薄芯片的残余应力，减小芯片的翘曲变形。
一种超薄柔性芯片制备方法

[发明专利]多接口的柔性电极-CN201911350764.2有效
发明人：冯雪;祁一洲;叶柳顺;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2019-12-24 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： A61B5/296 文献下载
摘要：一种多接口的柔性电极，包括接线模块和至少一个信号采集模块，接线模块包括第一柔性基底和设置在第一柔性基底上的多个第一导电部及多根分别与各第一导电部连接的第一导线，信号采集模块包括第二柔性基底和设置在第二柔性基底上的第二导电部、电极片和第二导线，第二导线的两端分别连接于第二导电部与电极片，第二柔性基底可拆装地设置在第一柔性基底上，第二导电部与第一导电部接触。本发明的多接口的柔性电极的信号采集模块的第二导电部可与接线模块上的任意第一导电部接触，提高了电极布置的灵活性，降低了电极制备成本。
接口柔性电极

[发明专利]一种用于光遗传刺激和电生理记录的光电极及其制备方法-CN202010460957.X有效
发明人：王明浩;郭帮帮;程瑜华;杨文伟;陈颖;叶柳顺;王高峰 -专利权人：杭州电子科技大学温州研究院有限公司;杭州电子科技大学
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光遗传刺激和电生理记录的光电极及其制备方法。现有光电极中的LED和记录电极集成在同一层，LED供电线可能会引入电磁辐射对记录信号产生干扰。本发明一种用于光遗传刺激和电生理记录的光电极，包括依次层叠设置的记录电极层、电磁屏蔽层和LED光刺激层。电磁屏蔽层内的金属层接地；通过静电屏蔽避免LED光刺激层内的控制信号干扰记录电极层内传输的信号。本发明通过单片集成LED的方法克服了混合封装空间分辨率有限的问题，将LED和记录电极分为两个功能层，并在之间加入一层金属屏蔽层，有效的降低了LED供电线对与之相邻的记录通道的影响，即电磁干扰，从而提高了信号的质量。
一种用于遗传刺激生理记录电极及其制备方法

[发明专利]一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极及其制备方法-CN202010460927.9有效
发明人：王明浩;郭帮帮;程瑜华;杨文伟;陈颖;叶柳顺;王高峰 -专利权人：杭州电子科技大学温州研究院有限公司;杭州电子科技大学
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01S5/02345 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极及其制备方法。现有的神经电极仅能够采集信号无法对大脑进行刺激，且往往过刚或过柔，导致脑损伤或植入困难。本发明一种用于神经记录和刺激的柔性神经光电极，包括记录层、电磁屏蔽层和光刺激层。依次层叠设置的记录层、电磁屏蔽层、光刺激层共同形成神经光电极结构；探针的尖端设置有暴露的记录电极点。探针上的光刺激层形成截面为矩形的光波导结构。电极基体上光刺激层设置有LD安置槽。LD安置槽内设置有刺激光源。刺激光源与探针上的光波导结构对准；本发明拥有良好的柔性，且SU‑8光刻胶提供了合适的刚性，在提高光传输效率的同时避免电极探针植入时的弯曲。
一种用于神经记录刺激柔性电极及其制备方法

[实用新型]表面电极组件-CN201922340910.5有效
发明人：冯雪;周涛;叶柳顺;陈颖;付浩然 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： A61B5/0492 文献下载
摘要：一种表面电极组件，包括充气球囊和设置在充气球囊上的电极片，电极片包括中间部和多个延展部，各延展部沿着中间部的周向相互间隔设置，且各延展部的一端连接于中间部。本实用新型的表面电极组件能避免应力集中的问题，进而有助于降低电极片断裂的发生概率。
表面电极组件

[发明专利]柔性可延展太阳能电池及其制造方法-CN201911377234.7有效
发明人：冯雪;陈颖;叶柳顺;王显 -专利权人：清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L31/0392 文献下载
摘要：本公开涉及一种柔性可延展太阳能电池及其制造方法。电池包括多个电池单元、多个第一电极连接部、多个第二电极连接部、多个第一互连线、多个第二互连线、封装层和可延展衬底，可延展衬底用于承载电池；相邻的第一、第二电极连接部之间通过对应的第二互连线连接在一起；每个电池单元位于对应的第二电极连接部上方，用于将接收到的光能转换为电能；每个电池单元的第二电极连接到位于电池单元下方的第二电极连接部、第一电极通过对应的第一互连线连接到相邻的第一电极连接部；封装层用于封装电池。本公开所提供电池及其制造方法，制造过程简单，且制造出的电池柔性和可延展性好，在受力形变时仍能稳定工作，能量转换效率高，适用范围广。
柔性延展太阳能电池及其制造方法

[发明专利]柔性石墨烯关节传感器及其制备方法-CN202010036552.3在审
发明人：冯雪;祁一洲;叶柳顺;陈颖;宋宪;彭玉鑫 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了柔性石墨烯关节传感器及其制备方法。该柔性石墨烯关节传感器包括：第一柔性层，其一侧表面为第一表面；石墨烯传感单元，其设在第一表面；可延展导线结构，其包括基线层和导电层，基线层形成在第一表面的至少部分表面，导电层形成在基线层远离第一表面的至少部分表面，并与石墨烯传感单元相连；外接导线，其与可延展导线结构中的导电层相连；第二柔性层，其一侧表面为第二粘性表面，第二粘性表面与第一表面相对设置，并覆盖石墨烯传感单元、可延展导线结构、第一表面和部分外接导线。该柔性石墨烯关节传感器是一种超薄柔性器件，可以完全贴合皮肤，适于长时间佩戴，且具有连接和封装方式可靠性高等优点。
柔性石墨关节传感器及其制备方法

[发明专利]柔性显示屏的制造方法-CN201811268383.5有效
发明人：冯雪;叶柳顺;王宙恒;李海成;陈颖 -专利权人：清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：本公开涉及一种柔性显示屏的制造方法。该方法包括：在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层，N型半导体层、量子阱层和P型半导体层构成功能层；对功能层进行刻蚀，形成P型电极区域和N型电极区域；在P型电极区域的对应位置生成P型透明电极，在N型电极区域的对应位置生成N型金属电极，形成多个发光器件；将多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件；对多个独立发光器件进行互联；将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底；去除半导体衬底，形成柔性显示屏。本公开的方法所生产的柔性显示屏的厚度薄、柔性高、化学性能稳定、机械性强、分辨率高、出光效率高、适用范围广，能够满足用户的使用需求。
柔性显示屏制造方法

[发明专利]柔性电极及其制备方法-CN202010036229.6在审
发明人：冯雪;祁一洲;叶柳顺 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了柔性电极及其制备方法。其中，制备柔性电极的方法包括：提供基底，在基底表面依次形成导电层和基线层；刻蚀除去基底；利用柔性基底将产品从刻蚀液中取出，并使基线层置于柔性基底表面；在导电层远离基线层的至少部分表面形成光刻牺牲层，并在光刻牺牲层上设置具有预定图案的光刻胶掩膜版；刻蚀预定图案区域外的光刻牺牲层，以便得到具有预定图案的光刻牺牲层；刻蚀除去未被具有预定图案的光刻牺牲层覆盖部分的导电层和基线层后，除去具有预定图案的光刻牺牲层，得到柔性电极。该方法可同时刻蚀柔性电极中的导电层和基线层双层结构，一次性形成图形化的二维材料导电层和基线层，从而可以有效简化制备工艺、提升制备效率。
柔性电极及其制备方法

[发明专利]语言识别系统-CN202010036555.7在审
发明人：冯雪;祁一洲;叶柳顺;张佳伟;鲁智来;沈杰;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： G10L15/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种语言识别系统，包括：柔性基底，其上设有：柔性电极模块，包括表面电极和导线，表面电极和导线均设置于柔性基底上，导线的一端与表面电极相连，且适于采集并传输喉部肌肉运动产生的肌电信号；柔性电路模块，包括柔性电路板和柔性封装材料、供电部，柔性电路板设置于柔性基底上，柔性封装材料设置于柔性电路板上，柔性电路板包括数据采集电路和无线传输部，数据采集电路与导线的另一端相连，无线传输部与数据采集电路相连，且适于接收、处理并传输肌电信号，供电部为柔性电路板供电；信号识别模块，与无线传输部相连，且适于对经柔性电路模块处理并传输的肌电信号做信号清理、特征提取和语言识别。
语言识别系统

[发明专利]柔性光电转换模块的制造方法以及无线充电装置及系统-CN201811268381.6有效
发明人：冯雪;叶柳顺;王宙恒;李海成;陈颖 -专利权人：清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L25/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种柔性光电转换模块的制造方法以及无线充电装置及系统。该方法包括：将第一掩膜版图形转移至在半导体衬底的一面生成的第一掩膜保护层上，暴露出其上的待掺杂区域；对待掺杂区域进行掺杂，生成已掺杂区域；去除第一掩膜保护层；刻蚀突出已掺杂区域；在已掺杂区域和未掺杂区域上分别生成第一金属电极和第二金属电极，形成多个光电转换器件；转印至柔性衬底；对多个光电转换器件进行分离及互联，形成光电转换阵列；封装形成柔性光电转换模块。本公开实施例所提供的柔性光电转换模块的制造方法以及无线充电装置及系统，柔性光电转换模块的制造工艺简单，可实现对植入式电子设备的无线充电。
柔性光电转换模块制造方法以及无线充电装置系统

[发明专利]汗液传感器、集成电极阵列及其制备方法-CN201911253114.6在审
发明人：冯雪;肖建亮;叶柳顺;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01N27/27 文献下载
摘要：本申请涉及一种汗液传感器、集成电极阵列及其制备方法，其中，汗液传感器的集成电极阵列包括用于检测汗液中有机成分的第一电极组与用于检测汗液中无机成分的第二电极组，第一电极组与第二电极组均包括至少两个工作电极与至少一个参比电极，每个参比电极对应至少一个工作电极，不同工作电极用于检测不同的汗液成分。本申请在汗液传感器中设置用于检测不同汗液成分的电极，且每个参比电极对应至少一个工作电极，检测范围广且集成度高。
汗液传感器集成电极阵列及其制备方法

[发明专利]汗液传感器及其制备方法-CN201911184104.1在审
发明人：冯雪;肖建亮;叶柳顺;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本申请涉及一种汗液传感器，包括多孔疏水层、电极层与多孔亲水层，多孔疏水层、电极层及多孔亲水层依次层叠设置，多孔疏水层用于接触体表，使得汗液透过多孔疏水层向多孔亲水层定向输送以经过电极层进行检测。本申请利用多孔疏水层与多孔亲水层之间形成的润湿性梯度，使得汗液可以在传感器内部定向传输，有效解决汗液难收集、难传输、易混合污染的问题。
汗液传感器及其制备方法

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