[发明专利]集成电路装置在审

专利信息
申请号: 201811248683.7 申请日: 2018-10-25
公开(公告)号: CN109860173A 公开(公告)日: 2019-06-07
发明(设计)人: 高境鸿;黄崎峰;蔡辅桓;梁其翔 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L21/8234
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 在一个实施例中,集成电路装置(IC)包括半导体基板、配置在半导体基板上的隔离区域以及主动区域、配置在主动区域上的栅极堆叠以及配置在主动区域中并且在第一方向上被插入栅极堆叠的源极以及漏极。主动区域至少部分地被隔离区域所围绕。主动区域的中间部分在第二方向上横向地延伸超过栅极堆叠,第二方向与第一方向正交。
搜索关键词: 主动区域 栅极堆叠 集成电路装置 半导体基板 隔离区域 配置 方向正交 地被 漏极 源极 延伸
【主权项】:
1.一种集成电路装置,包括:一半导体基板;一隔离区域以及一主动区域,被配置在上述半导体基板上,其中上述主动区域至少部分地被上述隔离区域所围绕;一栅极堆叠,被配置在上述主动区域上;以及一源极以及一漏极,被配置在上述主动区域中,并且上述栅极堆叠在一第一方向上插入于上述源极以及上述漏极之间;其中上述主动区域的一中间部分在一第二方向上横向地延伸超过上述栅极堆叠,上述第二方向与上述第一方向正交。
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