[发明专利]一种传感器装置

摘要

本发明涉及质量、重量、压力、触力、脉搏、血压、物体抵触位移、磁致伸缩位移等检测领域，以及精密控制、按键、开关等控制领域的载荷增强型微机械传感器装置；其技术方案是：传感器装置包括：压力传感器部件、力传递部件，其中，用弹性部件将外部输入力分别分解或转移到基体或壳体和力传递部件上，从而，其中的弹性膜片部分只接受到部分输入力；优点是：使用低承载压力、低量程的压力传感器芯片或薄膜型压力传感器亦能制造高性能、高承载压力或高量程传感器装置。

主权项

1.一种传感器装置，包括：压力传感器部件，该压力传感器部件包括弹性膜片部分、支撑弹性膜片部分的基体或框体部分，所述弹性膜片部分适于受到力或抵触运动时变形，并将所述变形或力转换成电信号，力传递部件，该力传递部件适于向所述弹性膜片部分所在的方向移动，适于直接或间接地抵触所述弹性膜片部分，附件，该附件包括基体或壳体，其特征在于，进一步包括：弹性部件，该弹性部件适于将外部输入力分别分解或转移到所述基体或壳体和所述力传递部件上，从而，所述弹性膜片部分只接受到部分输入力。