[发明专利]形状测量装置

摘要

提供了一种能够使得用户容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状的形状测量装置。在基准图像RI上指派多个指派的点。将光辐射至测量对象的与所述多个指派的点对应的多个部分上。计算多个部分相对于近似平面的偏差。基于偏差产生偏差图像。在偏差图像中，显示了测量对象的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的偏差。

主权项

1.一种形状测量装置，包括：图像获取部分，其被构造为获取包括测量区域的图像；位置获取部分，其获取通过所述图像获取部分获取的图像上的多个位置作为多个指派的点；光发射器，其发射光；偏转器，其将从光发射器发射的光朝着与所述图像关联的测量区域中的点偏转；光接收器，其从与所述图像关联的测量区域接收光，并且产生对应于从所述测量区域接收到的光的光接收信号；驱动控制器，其控制所述偏转器偏转所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的多个部分上的光；坐标计算部分，其基于(a)所述偏转器的偏转方向或通过所述偏转器偏转的光在所述图像上的辐射位置和(b)通过所述光接收器产生的光接收信号，来计算所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的坐标；平面获取部分，其基于通过所述坐标计算部分计算的所述测量区域中的所述多个部分的坐标来确定近似平面；偏差计算部分，其基于所述多个部分的坐标来计算分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分相对于通过所述平面获取部分获取的近似平面的偏差；以及偏差图像产生部分，其产生偏差图像，所述偏差图像表示通过所述偏差计算部分计算的分别与所述多个指派的点对应的偏差。