[发明专利]形状测量装置

权利要求书

1.一种形状测量装置，包括：

图像获取部分，其被构造为获取包括测量区域的图像；

位置获取部分，其获取通过所述图像获取部分获取的图像上的多个位置作为多个指派的点；

光发射器，其发射光；

偏转器，其将从光发射器发射的光朝着与所述图像关联的测量区域中的点偏转；

光接收器，其从与所述图像关联的测量区域接收光，并且产生对应于从所述测量区域接收到的光的光接收信号；

驱动控制器，其控制所述偏转器偏转所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的多个部分上的光；

坐标计算部分，其基于(a)所述偏转器的偏转方向或通过所述偏转器偏转的光在所述图像上的辐射位置和(b)通过所述光接收器产生的光接收信号，来计算所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的坐标；

平面获取部分，其基于通过所述坐标计算部分计算的所述测量区域中的所述多个部分的坐标来确定近似平面；

偏差计算部分，其基于所述多个部分的坐标来计算分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分相对于通过所述平面获取部分获取的近似平面的偏差；以及

偏差图像产生部分，其产生偏差图像，所述偏差图像表示通过所述偏差计算部分计算的分别与所述多个指派的点对应的偏差。

2.根据权利要求1所述的形状测量装置，还包括显示形式设置部分，其设置偏差与颜色或密度之间的对应关系，其中，

所述偏差图像产生部分基于通过所述显示形式设置部分设置的对应关系产生所述偏差图像，以使得按照与通过所述偏差计算部分计算的偏差对应的颜色或密度来显示所述多个部分。

3.根据权利要求1或2所述的形状测量装置，其中，

所述偏差计算部分通过对分别与所述多个指派的点对应的所述偏差计算部分计算的偏差进行插值，来计算除分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分以外的区域的偏差，并且

所述偏差图像产生部分产生的偏差图像还表示通过所述偏差计算部分计算的除分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分以外的区域的偏差。

4.根据权利要求1或2所述的形状测量装置，还包括显示器，其显示通过所述偏差图像产生部分产生的、叠加在通过所述图像获取部分获取的图像上的偏差图像，所述偏差图像叠加在通过所述图像获取部分获取的图像上。

5.根据权利要求4所述的形状测量装置，其中，所述显示器还在所述偏差图像上显示指示了分别与所述多个指派的点对应的位置的指示符。

6.根据权利要求1或2所述的形状测量装置，其中，所述偏差计算部分还基于通过所述平面获取部分获取的近似平面和所述多个部分的偏差来计算与所述多个部分关联的平坦度。

7.根据权利要求1或2所述的形状测量装置，其中，

所述位置获取部分还获取通过所述图像获取部分获取的图像上的位置作为测量点，

所述驱动控制器还控制所述偏转器偏转所述测量区域中的对应于所述测量点的部分上的光，并且

所述形状测量装置还包括高度计算部分，其基于(a)所述偏转器的偏转方向或者所述图像上的测量点的位置以及(b)通过所述光接收器产生的光接收信号，来计算所述测量区域中的对应于所述测量点的测量部分的高度。