[发明专利]形状测量装置

说明书

提供了一种能够使得用户容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状的形状测量装置。在基准图像RI上指派多个指派的点。将光辐射至测量对象的与所述多个指派的点对应的多个部分上。计算多个部分相对于近似平面的偏差。基于偏差产生偏差图像。在偏差图像中，显示了测量对象的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的偏差。

技术领域

本发明涉及一种对测量对象的表面形状进行测量的形状测量装置。

背景技术

使用形状测量装置来对测量对象的表面形状进行测量。例如，在JP-A-2010-43954(专利文献1)中描述的尺寸测量装置中，通过光学耦合器将白光源辐射的光分成测量光束和参考光束。

测量光束由测量对象扫描光学系统扫描，照射在被测对象表面的任何测量点上。参考光束照射在参考光扫描光学系统上。基于被测对象反射的测量光束与参考光束的干涉来计算被测对象的测量点的表面高度。

通过使用专利文献1中描述的尺寸测量装置，可测量出测量对象的期望部分的形状。在这种情况下，关于具有平坦接合表面的测量对象，可以通过测量接合表面上的多个部分的表面高度来计算接合表面的平坦度。可以基于计算的平坦度确定测量对象的通过/失败。

对于这种接合表面，更详细地讲，期望的是不仅要掌握表面的平坦度，而且要掌握表面的不均匀状态。然而，即使形状测量装置的用户可知晓接合表面上的多个测量点的表面高度的值，也很难从所述多个值中掌握接合表面的粗糙表面形状。

发明内容

本发明的目的是提供一种形状测量装置，使用户能够容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状。

(1)根据本发明的形状测量装置包括：图像获取部分，其被构造为获取包括测量对象的真实图像；位置获取部分，其被构造为获取通过图像获取部分获取的测量对象的真实图像上的多个指派的点的位置；发光部分，其被构造为发射光；偏转部分，其被构造为偏转从发光部分发射的光并将光辐射至测量对象上；光接收部分，其被构造为从测量对象接收光，并且输出指示接收到的光量的光接收信号；驱动控制部分，其被构造为控制偏转部分将光辐射至测量对象的与所述多个指派的点对应的多个部分上；坐标计算部分，其被构造为基于偏转部分的偏转方向或者通过偏转部分偏转的光在真实图像上的辐射位置、以及通过光接收部分输出的光接收信号，来计算测量对象的多个部分的坐标；平面获取部分，其被构造为获取由通过坐标计算部分计算的所述多个部分的坐标所指明的近似平面；偏差计算部分，其被构造为计算所述多个部分相对于通过平面获取部分获取的近似平面的偏差；以及偏差图像产生部分，其被构造为产生偏差图像，其中按照与通过偏差计算部分计算的偏差对应的显示形式来显示所述多个部分。

在形状测量装置中，通过图像获取部分获取包括测量对象的真实图像。获取所述多个指派的点在测量对象的真实图像上的位置。从发光部分发射的光被偏转部分偏转并辐射至测量对象上。控制偏转部分以将光辐射至测量对象的与所述多个指派的点对应的所述多个部分上。

基于偏转部分的偏转方向或者通过偏转部分偏转的光在真实图像上的辐射位置、以及通过光接收部分输出的光接收信号，来计算测量对象的所述多个部分的坐标。获取通过计算的多个坐标所指明的近似平面。计算所述多个部分相对于获取的近似平面的偏差。基于计算的偏差产生偏差图像。

在偏差图像中，按照与计算的偏差对应的显示形式来显示与所述多个指派的点对应的测量对象的所述多个部分。结果，用户可通过视觉辨识偏差图像来容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状。

(2)形状测量装置还可包括显示形式设置部分，其被构造为设置偏差与颜色或密度之间的对应关系。偏差图像产生部分可基于通过显示形式设置部分设置的对应关系来产生偏差图像，以使得按照与通过偏差计算部分计算的偏差对应的颜色或密度显示所述多个部分。

在这种情况下，用户可通过视觉辨识偏差图像来容易地且直观地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状。