[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，在对板状的被加工物照射激光光线而加工时不会妨碍对被加工物照射激光光线。配设在保持单元(30)的上部的液体提供机构(40)包含：液体腔室(41)，其具有透明板(42)，该透明板被定位成与保持工作台(34)所保持的被加工物(10)的上表面之间形成间隙(S)；由透明部件构成的辊(52)，其在液体腔室内配设在以非接触的状态与被加工物的上表面接近的位置，使被加工物上的液体(W)产生流动；辊旋转机构(54)，其使辊旋转；液体提供喷嘴(43)，其从液体腔室的一方对间隙提供液体；和液体排出喷嘴(44)，其将液体从液体腔室的另一方排出。激光光线照射单元(6)包含：聚光器(86)，其会聚从激光振荡器(82)射出的激光光线并透过透明板、辊和提供到间隙的液体对被加工物进行照射。

主权项

1.一种激光加工装置，其具有：保持单元，其具有对板状的被加工物进行保持的保持工作台；激光光线照射单元，其对该保持工作台所保持的被加工物照射激光光线而实施加工；以及液体提供机构，其配设在该保持单元的上部，该液体提供机构包含：液体腔室，其具有透明板，该透明板被定位成与该保持工作台所保持的被加工物的上表面之间形成间隙；由透明部件构成的辊，其在该液体腔室内被配设在以非接触的状态与该保持工作台所保持的该被加工物的上表面接近的位置，并且该辊使该被加工物上的液体产生流动；辊旋转机构，其使该辊进行旋转；液体提供喷嘴，其从该液体腔室的一方对该间隙提供液体；以及液体排出喷嘴，其将液体从该液体腔室的另一方排出，该激光光线照射单元包含：激光振荡器，其射出激光光线；以及聚光器，其对从该激光振荡器射出的激光光线进行会聚，并且透过该透明板、该辊和提供到该间隙的液体而对该保持工作台所保持的被加工物进行照射。