[发明专利]保护环组件及具有该组件的等离子体注入装置在审
| 申请号： | 201811209000.7 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN111063602A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提出一种保护环组件及具有该组件的等离子体注入装置，保护环组件包括本体以及多个安装螺丝。本体呈环状结构，且具有分别朝向和背向处理腔室的安装表面和外表面，本体开设有多条贯穿安装表面和外表面的狭缝，狭缝被配置为供等离子体穿过，安装表面开设有多个安装孔槽。多个安装螺丝可拆装地设于处理腔室，安装螺丝具有露出于处理腔室的螺帽，螺帽外周设有卡环，卡环的外径大于安装孔槽的孔径。其中，安装螺丝的螺帽被配置为卡入安装孔槽中，且卡环过盈配合于安装孔槽的槽壁。 | ||
| 搜索关键词： | 保护环 组件 具有 等离子体 注入 装置 | ||
【主权项】：
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