[发明专利]激光晶化装置有效
| 申请号： | 201811208687.2 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109676244B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 三宫晓史;吴元熙;李京在;崔银善;韩圭完;柳济吉;曹永根 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/064;B23K26/53;H01L21/02;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光晶化装置，根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：光源部，产生激光束形态的多束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被照射所述输出光，所述光学系统包括：混合部，将入射的光分割及混合；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部以及所述混合部之间；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部以及所述混合部之间，并包括至少一个四分之一波长板。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 化装 | ||
【主权项】：
1.一种激光晶化装置，其中，包括：光源部，产生激光束形态的至少一束输入光；光学系统，将从所述光源部接收的所述输入光转换为至少一束输出光；以及台面，安置有对象基板，并且被所述输出光照射，所述光学系统包括：混合部，包括至少一个分束器和至少一个镜子，并将入射的光分割为多束光；第一偏光调制部，在光路径上布置于所述光源部及所述混合部之间，并包括使入射的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板；加工部，在所述光路径上布置于所述混合部的后方，并包括至少一个透镜，且形成所述输出光；以及第二偏光调制部，在所述光路径上布置于所述加工部及所述混合部之间，并包括使从所述混合部提供的光的一部分延迟λ/4的至少一个四分之一波长板。
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