[发明专利]蚀刻装置及清洗设备在审
| 申请号： | 201811201638.6 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109265013A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 彭思源;种鹏昆 | 申请（专利权）人： | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王正楠 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种蚀刻装置及清洗设备，属于玻璃基板加工领域，蚀刻装置包括机架、供液机构、涂覆机构及控制机构，供液机构包括用于提供蚀刻液的蚀刻液源，涂覆机构包括动力源和多个海绵辊，动力源固定设置于机架上，多个海绵辊均可转动地安装于机架且与动力源传动连接，海绵辊用于在输送玻璃基板的同时，吸收蚀刻液并将蚀刻液涂覆于玻璃基板上，控制机构同时与蚀刻液源和动力源电连接，用于控制蚀刻液源和动力源的启停。清洗设备包括上述的蚀刻装置。本蚀刻装置及清洗设备能够有效减少玻璃基板在接触和摩擦时产生的静电，保证液晶玻璃基板的正常生产。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻液 蚀刻装置 动力源 玻璃基板 清洗设备 海绵辊 供液机构 涂覆机构 液晶玻璃基板 传动连接 固定设置 有效减少 静电 电连接 可转动 启停 涂覆 摩擦 吸收 加工 保证 生产 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻装置，其特征在于，包括：机架；供液机构，所述供液机构包括用于提供蚀刻液的蚀刻液源；涂覆机构，所述涂覆机构包括动力源和多个海绵辊，所述动力源固定设置于所述机架上，多个所述海绵辊均可转动地安装于所述机架且与所述动力源传动连接，所述海绵辊用于在输送玻璃基板的同时，吸收所述蚀刻液并将所述蚀刻液涂覆于所述玻璃基板上；控制机构，所述控制机构同时与所述蚀刻液源和所述动力源电连接，用于控制所述蚀刻液源和所述动力源的启停。
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