[发明专利]一种有机发光二极管结构的制造方法有效

专利信息
申请号: 201811184473.6 申请日: 2018-10-11
公开(公告)号: CN111048698B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 许杨;黄志刚 申请(专利权)人: 上海新微技术研发中心有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 代理人: 刘元霞
地址: 201800 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供一种有机发光二极管结构的制造方法,包括:在衬底表面形成阳极结构,其中,相邻的所述阳极结构之间具有间隔区;形成隔绝材料膜,所述隔绝材料膜覆盖所述阳极结构的所述间隔区,以及所述阳极结构,所述隔绝材料膜的厚度为第一厚度;将所述隔绝材料膜减薄到第二厚度;刻蚀减薄后的所述绝缘材料膜,露出各阳极结构的至少部分;在所述隔绝材料膜的表面以及从所述隔绝材料膜露出的所述阳极结构的表面形成有机发光材料膜;以及在所述有机发光材料膜表面形成阴极薄膜。根据本申请,避免阴极材料膜断线,提升阴极材料膜蒸镀成膜工艺窗口,从而提高OLED的良率。
搜索关键词: 一种 有机 发光二极管 结构 制造 方法
【主权项】:
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