[发明专利]一种有机发光二极管结构的制造方法有效
申请号: | 201811184473.6 | 申请日: | 2018-10-11 |
公开(公告)号: | CN111048698B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 许杨;黄志刚 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 刘元霞 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种有机发光二极管结构的制造方法,包括:在衬底表面形成阳极结构,其中,相邻的所述阳极结构之间具有间隔区;形成隔绝材料膜,所述隔绝材料膜覆盖所述阳极结构的所述间隔区,以及所述阳极结构,所述隔绝材料膜的厚度为第一厚度;将所述隔绝材料膜减薄到第二厚度;刻蚀减薄后的所述绝缘材料膜,露出各阳极结构的至少部分;在所述隔绝材料膜的表面以及从所述隔绝材料膜露出的所述阳极结构的表面形成有机发光材料膜;以及在所述有机发光材料膜表面形成阴极薄膜。根据本申请,避免阴极材料膜断线,提升阴极材料膜蒸镀成膜工艺窗口,从而提高OLED的良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 发光二极管 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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