[发明专利]一种有机发光二极管结构的制造方法

说明书

本申请提供一种有机发光二极管结构的制造方法，包括：在衬底表面形成阳极结构，其中，相邻的所述阳极结构之间具有间隔区；形成隔绝材料膜，所述隔绝材料膜覆盖所述阳极结构的所述间隔区，以及所述阳极结构,所述隔绝材料膜的厚度为第一厚度；将所述隔绝材料膜减薄到第二厚度；刻蚀减薄后的所述绝缘材料膜，露出各阳极结构的至少部分；在所述隔绝材料膜的表面以及从所述隔绝材料膜露出的所述阳极结构的表面形成有机发光材料膜；以及在所述有机发光材料膜表面形成阴极薄膜。根据本申请，避免阴极材料膜断线，提升阴极材料膜蒸镀成膜工艺窗口，从而提高OLED的良率。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种有机发光二极管结构的制造方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示、有机发光半导体。OLED显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。

OLED的基本结构是由一薄而透明具半导体特性之铟锡氧化物(ITO)，与电力之正极相连，再加上另一个金属阴极，包成如三明治的结构。整个结构层中包括了：空穴传输层(HTL)、发光层(EL)与电子传输层(ETL)。当电力供应至适当电压时，正极空穴与阴极电荷就会在发光层中结合，产生光亮，依其配方不同产生红、绿和蓝RGB三基色，构成基本色彩。OLED的特性是自己发光，不像薄膜晶体管(TFT)液晶显示器(LCD)需要背光，因此可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上反应快、重量轻、厚度薄，构造简单，成本低等，被视为21世纪最具前途的产品之一。

有机发光二极体的发光原理和无机发光二极体相似。当元件受到直流电(DirectCurrent，DC)所衍生的顺向偏压时，外加之电压能量将驱动电子(Electron)与空穴(Hole)分别由阴极与阳极注入元件，当两者在传导中相遇、结合，即形成所谓的电子-空穴复合。当电子的状态位置由激态高能阶回到稳态低能阶时，其能量将分别以光子(Light Emission)或热能(Heat Dissipation)的方式放出，其中光子的部分可被利用当作显示功能。因此，通过选择适当的材料当作发光层或是在发光层中掺杂染料能够得到所需的发光颜色。

此外，一般电子与空穴的结合反应均在数十纳秒(ns)内，故OLED的响应速度非常快。而发光效率较佳、普遍被使用的为多层被动矩阵有机发光二极管(Passive MatrixOrganic Light Emitting Diode，PM-OLED)结构，除玻璃基板、阴阳电极与有机发光层外，尚需制作空穴注入层(Hole Inject Layer，HIL)、空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)、电子传输层(Electron Transport Layer，ETL)与电子注入层(Electron InjectLayer，EIL)等结构。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

发明内容

本申请的发明人发现，在OLED阵列中，传输层与电极之间需设置隔绝材料层，所以，通过热蒸镀(Evaporate)在隔绝材料层表面形成电极时的加工难度相对提高，并且，隔绝材料层的形貌将直接影响到蒸镀的效果，使得整个制作过程变得更复杂。例如，OLED制造工艺过程中阳极结构刻蚀完成后，通常侧壁形貌角度比较陡直，在沉积一层较薄的隔绝材料层时形貌角度依然较陡直，这样会导致后续蒸镀时金属阴极断线，而干法刻蚀阳极结构时很难将侧壁调整至更斜且蒸镀过程中也无法改善。

图1是隔绝材料膜断裂开的一个示意图。如图1所示，在OLED结构中，衬底100的表面形成有由薄膜110和120形成的阳极结构，阳极结构具有间隔区，间隔区中形成有隔绝材料膜150，隔绝材料膜150表面形成有有机发光材料膜160和阴极材料膜170。