[发明专利]液晶面板的制造方法在审

专利信息
申请号: 201811177098.2 申请日: 2018-10-10
公开(公告)号: CN109656034A 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 谷池康司郎 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13;B08B11/04;B08B3/04;B08B3/02;B08B3/12
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 汪飞亚;习冬梅
地址: 日本国大*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供能进一步提高针对玻璃基板的成膜性(薄膜形成性)的液晶面板的制造方法。上述液晶面板的制造方法具有如下特征,具备:第一干式清洗工序,对液晶面板(11)用的玻璃基板(31)在处理槽(41)中进行干式清洗;湿式清洗工序,在第一干式清洗工序之后执行,在处理槽(42)中对玻璃基板(31)进行湿式清洗;以及第二干式清洗工序,在湿式清洗工序之后执行,在处理槽(44)中对玻璃基板(31)进行干式清洗。
搜索关键词: 干式清洗 玻璃基板 液晶面板 湿式清洗 处理槽 制造 薄膜形成 成膜性
【主权项】:
1.一种液晶面板的制造方法,其特征在于,具备:第一干式清洗工序,对液晶面板用的玻璃基板进行干式清洗;湿式清洗工序,在上述第一干式清洗工序之后执行,对上述玻璃基板进行湿式清洗;以及第二干式清洗工序,在上述湿式清洗工序之后执行,对上述玻璃基板进行干式清洗。
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