[发明专利]一种光刻镜片的制作方法和镜头有效
| 申请号： | 201811155427.3 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109143795B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈杰峰 | 申请（专利权）人： | 联想（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张振伟;张颖玲 |
| 地址： | 100085*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光刻镜片的制作方法和镜头，其中，所述方法包括：在基材的表面上涂覆光刻材料；利用光刻掩膜板对光刻材料进行刻蚀；其中，所述光刻掩膜板上具有多个具有预设的形状的掩膜图形，在每一所述掩膜图形上不同位置的透光率不同；对刻蚀后的光刻材料进行固化处理，得到光刻镜片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 镜片 制作方法 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种光刻镜片的制作方法，其特征在于，所述方法包括：在基材的表面上涂覆光刻材料；利用光刻掩膜板对光刻材料进行刻蚀；其中，所述光刻掩膜板上具有多个具有预设的形状的掩膜图形，在每一所述掩膜图形上不同位置的透光率不同；对刻蚀后的光刻材料进行固化处理，得到光刻镜片。
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