[发明专利]一种离心烧结制造靶材的装置及方法在审
申请号: | 201811145904.8 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN108931133A | 公开(公告)日: | 2018-12-04 |
发明(设计)人: | 陈钦忠;陈宝忠;林志河;蔡小勇;邱树将 | 申请(专利权)人: | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
主分类号: | F27B14/06 | 分类号: | F27B14/06;F27B14/08;C04B35/64;C04B35/453;C04B35/46;C04B35/457;C04B35/495 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 代芳 |
地址: | 350200 福建省福州*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种离心烧结制造靶材的装置,包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机,其中,所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内,所述模具底部设置有一旋转底座,所述驱动电机设置于所述外壳体底部,所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接;所述外壳体的首端设置为开合门结构,通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合;本发明提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材,节省原材料,省去掏孔工序,提高良率,大大降低成本。 | ||
搜索关键词: | 离心烧结 驱动电机 外壳体 靶材 模具 电阻加热 旋转底座 开合门 制造 内部加热 管靶材 加热腔 体内部 转动轴 开合 良率 腔内 首端 | ||
【主权项】:
1.一种离心烧结制造靶材的装置,其特征在于:包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机,其中,所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内,所述模具底部设置有一旋转底座,所述驱动电机设置于所述外壳体底部,所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接;所述外壳体的首端设置为开合门结构,通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合。
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