[发明专利]微滴沉积装置以及制造该装置的方法

摘要

本申请涉及一种微滴沉积装置以及制造该装置的方法，装置包括歧管部件和致动器部件；致动器部件提供流体室的第一阵列，每个具有喷嘴和能够响应电信号促使流体微滴通过喷嘴在沉积方向上释放的压电致动器元件；第一阵列在垂直于沉积方向的阵列方向上从第一纵向端部延伸到相对的第二纵向端部；歧管部件在阵列方向上是长形的且包括第一和第二歧管室，歧管室在阵列方向上并排延伸，第一歧管室经第一阵列中的流体室中的每个流体连接到第二歧管室；歧管室中的至少一个的横截面面积在阵列方向上逐渐减小；歧管部件的垂直于阵列方向的横截面形状在阵列方向上变化，使得横截面的形心沿流体室的第一阵列的长度在沉积方向上与流体室的阵列保持大体恒定的距离。

主权项

1.一种微滴沉积装置，包括一体地形成的歧管部件、流体流动部件和一个或更多个致动器部件；其中所述一个或更多个致动器部件提供流体室的第一阵列和第二阵列，每个流体腔具有压电致动器元件和喷嘴，所述压电致动器元件是可操作的，以响应于电信号促使流体微滴通过所述喷嘴在沉积方向上释放，流体室的所述阵列并排地在阵列方向上从对应的第一纵向端部延伸到对应的相对的第二纵向端部，所述阵列方向大致垂直于所述沉积方向；其中所述歧管部件在所述阵列方向上是长形的并且包括第一歧管室、第二歧管室和第三岐管室，所述歧管室并排地在所述阵列方向上延伸，所述第一岐管室布置在所述第二岐管室和所述第三岐管室之间；其中所述第一歧管室经由所述第一阵列中的所述流体室中的每一个流体连接到所述第二歧管室，并且经由所述第二阵列中的所述流体室中的每一个流体连接到所述第三歧管室；其中所述歧管部件还包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道在由所述岐管部件和所述流体流动部件一起提供的流体汇合部处分支成所述第二管道和第三管道，所述第二管道和所述第三管道分别连接到所述第二歧管室和所述第三歧管室；其中所述流体流动部件大致成形为塞子，所述塞子成形为被接纳在由所述歧管部件提供的对应的插口内；并且其中，当在所述沉积方向上看时，所述流体汇合部的至少一部分与所述第一歧管室重叠。