[发明专利]微滴沉积装置以及制造该装置的方法

权利要求书

1.一种微滴沉积装置，包括一体地形成的歧管部件、流体流动部件和一个或更多个致动器部件；

其中所述一个或更多个致动器部件提供流体室的第一阵列和第二阵列，每个流体室具有压电致动器元件和喷嘴，所述压电致动器元件是可操作的，以响应于电信号促使流体微滴通过所述喷嘴在沉积方向上释放，流体室的所述第一阵列和所述第二阵列并排地在阵列方向上从对应的第一纵向端部延伸到对应的相对的第二纵向端部，所述阵列方向大致垂直于所述沉积方向；

其中所述歧管部件在所述阵列方向上是长形的并且包括第一歧管室、第二歧管室和第三歧管室，所述第一歧管室、所述第二歧管室和所述第三歧管室并排地在所述阵列方向上延伸，所述第一歧管室布置在所述第二歧管室和所述第三歧管室之间；

其中所述第一歧管室经由所述第一阵列中的所述流体室中的每一个流体连接到所述第二歧管室，并且经由所述第二阵列中的所述流体室中的每一个流体连接到所述第三歧管室；

其中所述歧管部件还包括第一管道、第二管道和第三管道，所述第一管道在由所述歧管部件和所述流体流动部件一起提供的流体汇合部处分支成所述第二管道和第三管道，所述第二管道和所述第三管道分别连接到所述第二歧管室和所述第三歧管室；

其中所述流体流动部件大致成形为塞子，所述塞子成形为被接纳在由所述歧管部件提供的对应的插口内；并且

其中，当在所述沉积方向上看时，所述流体汇合部的至少一部分与所述第一歧管室重叠。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一管道、所述第二管道及所述第三管道和所述流体汇合部大致上定位成相对于所述阵列方向超过流体室的所述第一阵列和流体室的所述第二阵列的纵向端部。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一管道、所述第二管道及所述第三管道和所述流体汇合部大致位于正交于所述阵列方向的平面内。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述流体流动部件是一体地形成的。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述歧管部件关于由所述阵列方向和所述沉积方向界定的平面大体上对称。

6.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，其中，所述流体室在歧管宽度方向上是长形的，所述歧管宽度方向正交于所述沉积方向。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，在每个阵列内的连续的长形流体室由包括压电材料的室壁分离，所述室壁从而提供所述压电致动器元件。

8.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，其中，所述一个或更多个致动器部件包括大致平面的基板，所述基板在正交于所述沉积方向的平面中延伸，所述压电致动器元件安装在所述基板上；

其中，所述歧管部件提供安装表面，所述安装表面在正交于所述沉积方向的平面中延伸，所述基板安装在所述安装表面上并且因而布置在所述压电致动器元件和所述歧管部件之间；并且

其中，所述基板包括多个流体端口以便使所述第一歧管室、所述第二歧管室和所述第三歧管室流体地连接到所述流体室。

9.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，其中，所述歧管部件大体上由聚合物材料形成。

10.根据权利要求1-5中的任一项所述的装置，其中，所述歧管部件大体上由填充聚合物材料形成。

11.一种制造微滴沉积装置的方法，包括模制根据权利要求1-5中的任一项所述的装置的所述歧管部件，以及将所述歧管部件与所述一个或更多个致动器部件装配在一起。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述模制是注塑模制。

13.根据权利要求11或12所述的方法，其中以下中的至少一者二次模制到所述歧管部件中：用于连接到流体供给系统以便将流体供给到所述第一歧管室、所述第二歧管室和所述第三歧管室中的至少一个的入口管；用于连接到流体供给系统以便将流体从所述第一歧管室、所述第二歧管室和所述第三歧管室中的至少一个抽出的出口管；以及安装销。