[发明专利]一种母板及其检测方法有效

专利信息
申请号: 201811105708.8 申请日: 2018-09-21
公开(公告)号: CN109216379B 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 赵永强;樊超;廖中伟;蒋冬舜;陈胡建;李世维 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L29/417;H01L21/66
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 郭润湘
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种母板及其检测方法,该母板,包括基板,位于所述基板上的多个显示区域,以及位于所述显示区域之间的非显示区域,所述显示区域包括用于控制像素显示的薄膜晶体管,包括:位于所述非显示区域的至少一个检测元件;通过在非显示区域内设置与有源层和源漏电极等同的检测元件,通过对非显示区域内的第一电极或第二电极与第三电极之间的接触电阻进行检测,从而反映薄膜晶体管内的源漏电极与有源层之间的界面的品质,实现对源漏电极与有源层之间的界面的品质的监控,从而提高显示面板的质量。
搜索关键词: 一种 母板 及其 检测 方法
【主权项】:
1.一种母板,包括基板,位于所述基板上的多个显示区域,以及位于所述显示区域之间的非显示区域,所述显示区域包括用于控制像素显示的薄膜晶体管,其特征在于,包括:位于所述非显示区域的至少一个检测元件;所述检测元件包括:与所述薄膜晶体管的源漏电极同层设置的第一电极和第二电极,与所述薄膜晶体管的有源层同层设置的第三电极,所述第一电极与所述第三电极存在交叠,所述第二电极与所述第三电极存在交叠,且所述第一电极与所述第二电极不交叠。
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