[发明专利]感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法在审
| 申请号： | 201811098945.6 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109581811A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 成子朗人;浅冈高英;松本晃幸 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 彭雪瑞;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种放射线感度及保存稳定性优异且可获得解析度高、对于金属配线的腐蚀性低的经图案化的膜的感放射线性树脂组合物、半导体元件、显示装置、硬化膜及其制造方法。一种感放射线性树脂组合物，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)；感放射线性化合物(B)；有机溶媒(D)；以及水(E)；并且所述水(E)的含量为10wtppm以上、800wtppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感放射线性树脂组合物 半导体元件 显示装置 芳香环 聚合体 硬化膜 烷氧基硅烷基 保存稳定性 感放射线性 金属配线 有机溶媒 放射线 解析度 酸性基 图案化 直接键 感度 制造 | ||
【主权项】：
1.一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，包含：聚合体成分(A)，在相同或不同的聚合体中具有含有芳香环与直接键结于所述芳香环上的烷氧基硅烷基的结构单元(I)及含有酸性基的结构单元(II)；感放射线性化合物(B)；有机溶媒(D)；以及水(E)；并且所述水(E)的含量为10wtppm以上、800wtppm以下。
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