[发明专利]一种光阻喷头装置及涂布光阻的方法在审
| 申请号： | 201811094996.1 | 申请日： | 2018-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110918333A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈步祥 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/16 | 分类号： | B05B15/16 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光阻喷头装置及涂布光阻的方法，其中，光阻喷头装置包括：喷头及喷头盖；喷头包含用于喷涂光阻的喷嘴；喷头盖包括容纳槽，喷头与喷头盖通过容纳槽包覆喷嘴，且喷头与喷头盖形成闭合空间。通过具有容纳槽的喷头盖包覆喷嘴，使得喷嘴位于闭合空间内，从而降低喷头中的光阻的挥发，降低液态的光阻转变成凝胶态的物质并附着于喷管或/和喷嘴处的概率，从而提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷头 装置 涂布光阻 方法 | ||
【主权项】：
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