[发明专利]一种光阻喷头装置及涂布光阻的方法

权利要求书

1.一种光阻喷头装置，其特征在于，所述光阻喷头装置包括：

喷头，所述喷头包含用于喷涂光阻的喷嘴；

喷头盖，所述喷头盖包括容纳槽，所述喷头与所述喷头盖通过所述容纳槽包覆所述喷嘴，且所述喷头与所述喷头盖形成闭合空间。

2.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述容纳槽的纵截面形貌包括等腰梯形，且所述容纳槽的开口在水平面的投影大于所述容纳槽的底面，所述容纳槽的底面的形貌包括圆形、椭圆形及多边形中的一种。

3.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述喷头盖的纵截面形貌包括等腰梯形，且所述喷头盖的顶部在水平面的投影大于所述喷头盖的底部，所述喷头盖的底部的形貌包括圆形、椭圆形及多边形中的一种。

4.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述容纳槽的开口包括直径范围为0.06mm～8mm的圆形，所述容纳槽的底面包括直径范围为0.05mm～3mm的圆形，所述容纳槽的高度的范围包括0.5mm～10mm。

5.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述喷头盖的顶部包括直径范围为0.1mm～10mm的圆形，所述喷头盖的底部包括直径范围为0.1mm～5mm的圆形，所述喷头盖的高度的范围包括1mm～15mm。

6.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述喷头盖与所述喷头的连接方式包括螺纹连接、销连接、锁扣连接及插接中的一种。

7.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述容纳槽的底面与所述喷嘴之间还包括空腔。

8.根据权利要求1所述的光阻喷头装置，其特征在于：所述光阻喷头装置还包括位于所述喷头盖及喷头之间的密封圈，所述密封圈包括硅胶密封圈。

9.一种涂布光阻的方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供权利要求1～8中任一所述光阻喷头装置；

分离所述喷头盖及喷头，通过所述喷头喷涂光阻；

连接所述喷头盖及喷头。

10.根据权利要求9所述的涂布光阻的方法，其特征在于：分离所述喷头盖及喷头之后，连接所述喷头盖及喷头之前，还包括清洗所述喷头盖的步骤。