[发明专利]蒸镀膜层记录装置及其方法、掩模板组件和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201811090887.2 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN108977764B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 栾梦雨;熊腾青;胡友元;齐忠胜;毛波;熊先江 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 赵伟 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种蒸镀膜层记录装置及其方法、掩模板组件和蒸镀设备。所述蒸镀膜层记录装置包括：记录掩模板，具有开口部；膜层记录构件，与所述记录掩模板相对设置，在蒸镀期间，蒸镀材料能够通过所述记录掩模板的开口部而被沉积在所述膜层记录构件上；和驱动构件，用于驱动所述记录掩模板与所述膜层记录构件产生相对运动，以改变所述记录掩模板的开口部在所述膜层记录构件上的正投影的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 记录 装置 及其 方法 模板 组件 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀膜层记录装置，包括：记录掩模板，具有开口部；膜层记录构件，与所述记录掩模板相对设置，在蒸镀期间，蒸镀材料能够通过所述记录掩模板的开口部而被沉积在所述膜层记录构件上；和驱动构件，用于驱动所述记录掩模板与所述膜层记录构件产生相对运动，以改变所述记录掩模板的开口部在所述膜层记录构件上的正投影的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811090887.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：有源矩阵有机发光二极管精细荫罩组件及其制造方法
- 下一篇：一种WS
- 同类专利
- 专利分类
