[发明专利]影像感测器及其形成方法

摘要

根据本发明一些实施例，提供一种影像感测器。上述影像感测器包含具有一第一像素区及一第二像素区基底。上述影像感测器还包含设置于基底上的共振结构。上述共振结构包含设置于第一像素区及第二像素区上的第一金属层。上述共振结构亦包含设置于第一金属层及第一像素区上的第一绝缘层。第一绝缘层具有第一厚度。上述共振结构还包含设置于第一金属层及第二像素区上的第二绝缘层。第二绝缘层具有大于第一厚度的一第二厚度。此外，上述共振结构包含设置于第一绝缘层及第二绝缘层上的第二金属层。

主权项

1.一种影像感测器，包括：一基底，具有一第一像素区及一第二像素区；以及一共振结构，设置于该基底上，且该共振结构包括：一第一金属层，设置于该第一像素区及该第二像素区上；一第一绝缘层，设置于该第一金属层及该第一像素区上，其中该第一绝缘层具有一第一厚度；一第二绝缘层，设置于该第一金属层及该第二像素区上，其中该第二绝缘层具有大于该第一厚度的一第二厚度；以及一第二金属层设置于该第一绝缘层及该第二绝缘层上。