[发明专利]一种反射镜姿态变换面形检测装置

摘要

本发明涉及光电测量技术领域，具体公开一种反射镜姿态变换面形检测装置，检测装置包括：机身、第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、气囊减振器、第一转台、第二转台、第三转台、4D干涉仪以及CGH补偿器；通过发送指令控制第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、第一转台、第二转台和第三转台，使4D干涉仪、CGH补偿器和被测反射镜组件分别运动至被测所需的俯仰角和横滚角，且满足合适的空气间隔与偏心要求时，对此状态下的反射镜的面形进行干涉测量；本发明的检测装置可以对具有一定俯仰和横滚角工作状态下的反射镜面形进行动态实时检测，具有结构简单、操作方便、成本低、通用性强的优点。

主权项

1.一种反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述面形检测装置包括：机身、第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、第一转台、第二转台、第三转台、4D干涉仪以及CGH补偿器；/n所述第一线性平台的轴线、所述第二线性平台的轴线以及所述第三线性平台的轴线，三者分别呈垂直分布；所述第二线性平台固定在所述第一线性平台上，所述第一线性平台固定在所述机身上，所述第一转台固定在所述第二线性平台上，所述第三线性平台固定在所述第一转台上，所述第二转台与所述第三转台固定连接，被测反射镜组件固定在第二转台上，第三转台包括第三转台支架，第二转台固定在第三转台支架上，被测反射镜组件绕第二转台的转盘的轴线回转；所述4D干涉仪以及所述CGH补偿器均固定在所述第三线性平台上；/n所述第一线性平台包括第一伺服电机、第一行星齿轮减速器、第一联轴器、第一丝杠支座、第一滚珠丝杠、第一直线导轨、第一滑台、第一丝杠螺母、第二丝杠支座以及第一线性平台床身；/n所述第一行星齿轮减速器的输入端与所述第一伺服电机连接，所述第一行星齿轮减速器的输出端与所述第一滚珠丝杠通过所述第一联轴器连接；所述第一滚珠丝杠安装在所述第一丝杠支座和所述第二丝杠支座上；所述第一行星齿轮减速器、所述第一直线导轨、所述第一丝杠支座和所述第二丝杠支座固定在所述第一线性平台床身上，所述第一丝杠螺母固定连接在所述第一滑台上，所述第一滑台通过所述第一滚珠丝杠和所述第一丝杠螺母的螺旋传动可以在所述第一直线导轨上平移滑动。/n