[发明专利]一种反射镜姿态变换面形检测装置

权利要求书

1.一种反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述面形检测装置包括：机身、第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、第一转台、第二转台、第三转台、4D干涉仪以及CGH补偿器；

所述第一线性平台的轴线、所述第二线性平台的轴线以及所述第三线性平台的轴线，三者分别呈垂直分布；所述第二线性平台固定在所述第一线性平台上，所述第一线性平台固定在所述机身上，所述第一转台固定在所述第二线性平台上，所述第三线性平台固定在所述第一转台上，所述第二转台与所述第三转台固定连接，被测反射镜组件固定在第二转台上，第三转台包括第三转台支架，第二转台固定在第三转台支架上，被测反射镜组件绕第二转台的转盘的轴线回转；所述4D干涉仪以及所述CGH补偿器均固定在所述第三线性平台上；

所述第一线性平台包括第一伺服电机、第一行星齿轮减速器、第一联轴器、第一丝杠支座、第一滚珠丝杠、第一直线导轨、第一滑台、第一丝杠螺母、第二丝杠支座以及第一线性平台床身；

所述第一行星齿轮减速器的输入端与所述第一伺服电机连接，所述第一行星齿轮减速器的输出端与所述第一滚珠丝杠通过所述第一联轴器连接；所述第一滚珠丝杠安装在所述第一丝杠支座和所述第二丝杠支座上；所述第一行星齿轮减速器、所述第一直线导轨、所述第一丝杠支座和所述第二丝杠支座固定在所述第一线性平台床身上，所述第一丝杠螺母固定连接在所述第一滑台上，所述第一滑台通过所述第一滚珠丝杠和所述第一丝杠螺母的螺旋传动可以在所述第一直线导轨上平移滑动。

2.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述反射镜姿态变换面形检测装置还包括气囊减振器，所述气囊减振器包括第一气囊减振器和第二气囊减振器；所述机身通过所述第一气囊减振器与地基连接；所述第三转台通过所述第二气囊减振器与地基连接。

3.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述第一线性平台、所述第二线性平台以及所述第三线性平台的组成构件的种类相同。

4.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述第一转台与所述第二转台的组成构件的种类相同。

5.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述第一转台包括第四伺服电机、第四联轴器、第一转台床身、第一转盘、第一电机支架、第一轴承、第一编码器、第一蜗轮以及第一蜗杆；

所述第四伺服电机与所述第一蜗杆通过所述第四联轴器连接，所述第四伺服电机固定在所述第一电机支架上，所述第一电机支架固定在所述第一转台床身上，所述第一转盘固定在所述第一蜗轮上，所述第一蜗轮和所述第一蜗杆通过所述第一轴承安装在所述第一转台床身上；所述第一转盘通过所述第一蜗轮和所述第一蜗杆的传动进行回转。

6.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述第三转台还包括第三转台机身、第三转台主轴、力矩电机、第三编码器以及第三轴承；

所述第三转台支架与所述第三转台主轴固定连接，所述第三转台主轴的一端与所述力矩电机的转子固定连接，所述第三转台主轴的另一端与所述第三编码器的转子固定连接；所述第三转台主轴通过所述第三轴承安装在所述第三转台机身上，所述力矩电机的定子固定连接在所述第三转台机身上，所述第三转台支架可绕所述第三转台主轴的轴线回转。

7.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述第一线性平台和所述第二线性平台具有大位移行程，所述第三线性平台具有小位移行程。

8.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述第一线性平台、所述第二线性平台以及所述第三线性平台的分辨率均不大于10μm，重复定位精度均不大于8μm；所述第一转台、所述第二转台以及所述第三转台的分辨率均不大于5，重复定位精度均不大于10。

9.如权利要求1所述的反射镜姿态变换面形检测装置，其特征在于，所述反射镜姿态变换面形检测装置能对俯仰角0～90°，横滚角0～360°的反射镜进行面形干涉测量。