[发明专利]一种传感器单晶硅刻蚀装置

摘要

本发明涉及刻蚀装置的技术领域，具体涉及一种传感器单晶硅刻蚀装置，套筒固定连接在机架一上，所述套筒内壁均匀的开设有若干滑槽，套筒内壁的滑槽内滑动连接有滑块，反应室与滑块外壁固定连接，机架二上固定连接有液压缸一，液压缸一的活塞杆与反应室固定连接，套筒外壁开设有与套筒内壁滑槽位置对应的滑槽，套筒外壁的滑槽内滑动连接有安装板，安装板上均匀的开设有若干螺纹孔，安装板上通过螺栓配合螺纹孔固定连接有多个安装环，安装环上转动连接有线圈，线圈外壁固定连接有齿环，机架二上固定连接有伺服电机；本发明具有拿取、放置方便，灵活性高，调节范围广等优点。

主权项

1.一种传感器单晶硅刻蚀装置，包括机架一、套筒、机架二，其特征在于：所述套筒固定连接在机架一上，所述套筒内壁均匀的开设有若干滑槽，所述套筒内壁的滑槽内滑动连接有滑块，所述反应室与滑块外壁固定连接，所述机架二上固定连接有液压缸一，所述液压缸一的活塞杆与反应室固定连接。