[发明专利]蒸镀源及有机发光二极管显示面板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201811052533.9 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN110021715B 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 陈英杰 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;C23C14/24
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 汪飞亚;薛晓伟
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种有机发光二极管显示面板的制造方法,包括:提供第一基板,在所述第一基板上形成多个凹槽;填充有机发光原料于所述多个凹槽;提供作为待蒸镀基板的第二基板;将所述第一基板对齐所述第二基板;加热所述第一基板,使所述多个凹槽中的所述有机发光原料汽化至所述第二基板上的多个预蒸镀区域,从而所述形成有机发光二极管显示面板的有机发光材料层。本发明还提供一种蒸镀源。本发明的有机发光二极管显示面板的制造方法无需经过两次加热,便能使蒸镀源的入射角接近90°,减小阴影效应。
搜索关键词: 蒸镀源 有机 发光二极管 显示 面板 制造 方法
【主权项】:
1.一种有机发光二极管显示面板的制造方法,包括:提供第一基板,在所述第一基板上形成多个凹槽;填充有机发光原料于所述多个凹槽;提供作为待蒸镀基板的第二基板;将所述第一基板对齐所述第二基板;加热所述第一基板,使所述多个凹槽中的所述有机发光原料汽化至所述第二基板上的多个预蒸镀区域,从而所述形成有机发光二极管显示面板的有机发光材料层。
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