[发明专利]基于二维各向异性材料的片上光探测器及其制造方法

摘要

本公开提供了一种基于二维各向异性材料的片上光探测器及其制造方法，片上光探测器自下而上包括：重掺杂电极、薄层绝缘层、二维薄层材料和两个金属电极；二维薄层材料嵌设在薄层绝缘层和两个金属电极间；二维薄层材料为具有低面内对称性的二维材料。本公开光探测器使用的是全新的二维材料，由于材料本身的各向异性等特点，使得光探测器可以探测多角度的线偏振光，应用范围更加广泛，从根本上改变了探测器的性质。

主权项

1.一种基于二维各向异性材料的片上光探测器，包括：重掺杂电极、形成于重掺杂电极上的薄层绝缘层、形成于薄层绝缘层上的二维薄层材料和两个金属电极；所述二维薄层材料嵌设在所述薄层绝缘层和两个金属电极间；所述二维薄层材料为具有各向异性的二维材料。