[发明专利]流体控制组件及其使用方法有效
| 申请号： | 201811021011.2 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110873191B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 谢文杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/22 | 分类号： | F16K1/22;F16K1/42;F16K27/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李玉锁;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请部分实施例提供一种流体控制元件。流体控制元件包括一第一固定座及一第二固定座。流体控制元件还包括一阀座。阀座设置于第一固定座与第二固定座之间。流体控制元件也包括一阀体。阀体设置于阀座内并配置用以改变通过阀座的气体的流量。第一固定座包括一横向限位件。横向限位件与阀座沿一横轴方向排列且抵靠阀座。另外，阀座可移动于垂直横轴方向的一纵轴方向，且横向限位件限制阀座在横轴方向上的位移。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 组件 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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