[发明专利]一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201811001330.7 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110872484B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李飞龙;郭庆红;田云;任钻元;郝东东;熊震;朱军 | 申请（专利权）人： | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B27/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 471023 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液及其制备方法和应用，所述金刚石研磨液包括游离磨料、表面活性剂和水，在所述金刚石研磨液中游离磨料的质量百分含量为0.5‑10％，表面活性剂的质量百分含量为0.1‑3％。本发明通过对金刚石研磨液中游离磨料、表面活性剂成分含量的配合，使得增强金刚石切割液的切割性能，高加工硅片的表面质量，降低硅片碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 硅棒用 金刚石 研磨 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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