[发明专利]一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种金刚线切割硅棒用金刚石研磨液，其特征在于，所述金刚石研磨液由游离磨料、表面活性剂和水组成，在所述金刚石研磨液中游离磨料的质量百分含量为0.5-10％，表面活性剂的质量百分含量为0.1-3％；

所述表面活性剂包括三乙醇胺和硅酸钠，所述游离磨料为经过活化处理后的金刚石微粉；

所述金刚石微粉的粒径为0.5-1.5μm；

所述活化处理为：将游离磨料加入盐酸溶液中，加热至70-90℃，保温10-30min，冷却后用纯水洗至pH值6-7之间，烘干得到活化的游离磨料。

2.根据权利要求1所述的金刚线切割硅棒用金刚石研磨液，其特征在于，所述金刚石研磨液中游离磨料的质量百分含量为2-5％。

3.根据权利要求1所述的金刚线切割硅棒用金刚石研磨液，其特征在于，所述金刚石研磨液中表面活性剂的质量百分含量为0.1-0.6％。

4.根据权利要求1所述的金刚线切割硅棒用金刚石研磨液，其特征在于，所述表面活性剂中三乙醇胺和硅酸钠的质量比为1:3-4。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的金刚线切割硅棒用金刚石研磨液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

将游离磨料、表面活性剂和水混合，分散得到所述金刚石研磨液；

所述游离磨料为经过活化处理后的金刚石微粉。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法为：将游离磨料在搅拌下加入至水中得到游离磨料分散液；将表面活性剂加入至所述游离磨料分散液中，搅拌得到所述金刚石研磨液。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述活化处理为：将游离磨料加入盐酸溶液中，加热至70-90℃，保温10-30min，冷却后用纯水洗至pH值6-7之间，烘干得到活化的游离磨料。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述盐酸溶液的浓度为10-30％。

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法在金刚线切割机的冷却液罐体内完成。

10.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述将表面活性剂加入至所述游离磨料分散液中后搅拌的时间为30-60min。

11.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

A、将金刚石微粉加入盐酸溶液中，加热至70-90℃，保温10-30min，冷却后用纯水洗至pH值6-7之间，烘干得到活化的金刚石微粉；

B、将水注入金刚线切割机的冷却液罐体内，开启搅拌和内循环；然后将活化后的金刚石微粉加入冷却液罐体内，搅拌均匀；

C、将三乙醇胺和硅酸钠，搅拌混合均匀后将其加入至步骤(1)得到的混合液中，搅拌30-60min，得到所述金刚石研磨液。

12.根据权利要求1-4中任一项所述的金刚线切割硅棒用金刚石研磨液在金刚线切割中的应用。

13.根据权利要求12所述的应用，其特征在于，所述金刚线切割硅棒用金刚石研磨液与带固结磨粒的切割线一起使用。