[发明专利]一种带有铜冷却装置的阴极平台在审
| 申请号： | 201810999931.5 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN108754447A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 匡国庆 | 申请（专利权）人： | 镇江市德利克真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 镇江基德专利代理事务所(普通合伙) 32306 | 代理人： | 马振华 |
| 地址： | 212216 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有铜冷却装置的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；阴极体包括带有环形凹槽的底板和若干个绝缘支架，所述的环形凹槽内装有磁靴；所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、第二压板、靶材和第一压板；所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽，所述的环形凸槽伸入环形凹槽内，且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配，所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体；所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。该装置自带阴极体的冷却系统，可以对阴极体进行全方位的冷却处理。 | ||
| 搜索关键词： | 环形凹槽 环形凸槽 阴极体 底板 阴极 铜冷却装置 供气装置 冷却腔体 铜背板 液冷板 压板 底座 相对应位置 对称设置 绝缘支架 冷却处理 冷却系统 依次设置 冷却液 上表面 靶材 磁靴 伸入 自带 匹配 背面 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种带有铜冷却装置的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的阴极体包括带有环形凹槽的底板和设置在底板下部的若干个绝缘支架，所述的绝缘支架固定于底座上；所述的环形凹槽内装有磁靴；所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、用于压紧铜背板的第二压板、靶材和用于压紧靶材的第一压板；所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽，所述的环形凸槽伸入环形凹槽内，且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配，所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体；所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。
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