[发明专利]一种带有铜冷却装置的阴极平台

权利要求书

1.一种带有铜冷却装置的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；

所述的阴极体包括带有环形凹槽的底板和设置在底板下部的若干个绝缘支架，所述的绝缘支架固定于底座上；所述的环形凹槽内装有磁靴；所述的底板上由下至上依次设置有液冷板、铜背板、用于压紧铜背板的第二压板、靶材和用于压紧靶材的第一压板；

所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽，所述的环形凸槽伸入环形凹槽内，且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配，所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体；所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。

2.根据权利要求1所述的一种带有铜冷却装置的阴极平台，其特征在于，所述的磁靴的外表面与环形凹槽的内壁间还依次设有环形不锈钢垫圈和环形铝合金垫圈。

3.根据权利要求1所述的一种带有铜冷却装置的阴极平台，其特征在于，所述的供气装置包括固定在底座上的底架、与底架相连的中架、设置在中架两侧的左、右侧板和横截面呈工字形的顶架；所述中架的左侧面设有主过气凹槽，主过气凹槽经左侧板封闭形成主供气管路，中架的右侧面设有若干个独立的辅过气凹槽，辅过气凹槽经右侧板封闭形成若干个独立的辅供气管路；所述顶架与中架通过通气板相连，所述的通气板内部设有若干个横截面呈Y字形的气道；所述Y字形气道的底部入口同时与主供气管路的出口以及辅供气管路的出口相连，所述主供气管路的入口与主进气管道相连，若干个辅供气管路的入口与若干个辅进气管道一一对应相连。

4.根据权利要求3所述的一种带有铜冷却装置的阴极平台，其特征在于，所述的每个辅供气管路均包括三个辅气支路出口，每个辅气支路出口都单独与一个Y字形气道的底部入口相连。

5.根据权利要求3所述的一种带有铜冷却装置的阴极平台，其特征在于，所述的主供气管路设有九个主气支路出口，每个主气支路出口都单独与一个Y字形气道的底部入口相连。