[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置与方法，对基板实施使用处理液的处理，包括：基板保持单元，有自旋底座，并用以保持基板；隔断构件，有与由基板保持单元保持的基板的上表面相向的基板相向面，并有比自旋底座大的直径；隔断构件升降单元，使隔断构件在隔断位置与退避位置间升降，隔断位置是将基板相向面与上表面间的空间从上表面上的侧方隔断的位置，退避位置是从隔断位置向上方退避的位置，且空间未从上表面上的侧方被隔断；以及多个防护板，包括环绕在基板保持单元周围的筒状内侧防护板、及环绕在内侧防护板周围的筒状外侧防护板，多个防护板用以捕获从基板与隔断构件之间排出的处理液，外侧防护板的内周端相较于内侧防护板的内周端而位于径向外侧。

主权项

1.一种基板处理装置，用于对基板实施使用处理液的处理，所述基板处理装置包括：基板保持单元，具有自旋底座，并用以保持所述基板；隔断构件，具有与由所述基板保持单元保持的所述基板的上表面相向的基板相向面，并具有比所述自旋底座大的直径；隔断构件升降单元，使所述隔断构件在隔断位置与退避位置之间升降，其中，所述隔断位置是将所述基板相向面与所述上表面之间的空间从所述上表面上的侧方隔断的位置，所述退避位置是从所述隔断位置向上方退避的位置，且所述空间未从所述上表面上的侧方被隔断；以及多个防护板，包括环绕在所述基板保持单元周围的内侧防护板、以及环绕在所述内侧防护板周围的外侧防护板，所述多个防护板用以捕获从所述基板与所述隔断构件之间排出的处理液，所述内侧防护板和所述外侧防护板为筒状，其中所述外侧防护板的内周端相较于所述内侧防护板的内周端而位于径向外侧。