[发明专利]冷却水路预警方法及系统、半导体加工设备有效
| 申请号： | 201810974254.1 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN110857871B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 程旭文 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G05B23/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷却水路预警方法及系统、半导体加工设备，在冷却水路上设置有通断阀；冷却水路包括用于控制通断阀的控制单元，冷却水路预警方法包括：在作业设备开启时，分别对作业设备的内部温度、控制单元对通断阀的控制信号以及冷却水路的流量进行监测；根据监测结果判断是否出现冷却水路流量异常、通断阀故障和控制单元故障中的至少一种情况；若是，则发出报警。本发明提供的冷却水路预警方法及系统、半导体加工设备的技术方案，可以提高作业设备的寿命，同时避免因冷却水路的流量不足而造成的作业设备故障，从而避免工艺中断。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 水路 预警 方法 系统 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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