[发明专利]冷却水路预警方法及系统、半导体加工设备

权利要求书

1.一种半导体加工设备中的冷却水路预警方法，在冷却水路上设置有通断阀；所述冷却水路包括用于控制所述通断阀的控制单元，其特征在于，所述冷却水路预警方法包括：

在作业设备开启时，分别对所述作业设备的内部温度、所述控制单元对所述通断阀的控制信号以及所述冷却水路的流量进行监测；

根据监测结果判断是否出现所述冷却水路流量异常、所述通断阀故障和所述控制单元故障中的至少一种情况；

若是，则发出报警；

所述冷却水路预警方法，具体包括：

S1，在所述作业设备开启时，检测所述作业设备的内部温度；

S2，判断所述作业设备的内部温度是否超出第一阈值，若超出，则进行步骤S3；若未超出，则返回所述步骤S1；

S3，判断所述控制单元是否发出所述通断阀的开启信号；若是，则进行步骤S4；若否，则发出所述控制单元故障的报警；

S4，判断所述冷却水路的流量是否低于正常值，若否，则进行步骤S5；若是，则判断所述冷却水路的流量是否为零，若为零，则发出所述通断阀故障的报警；若不为零，则进行所述步骤S5；

S5，判断所述作业设备的内部温度是否下降至所述第一阈值以下，若是，则进行步骤S6；若否，则进行步骤S7；

S6，判断所述控制单元是否发出所述通断阀的关闭信号，若否，则发出所述控制单元故障的报警；若是，则判断所述冷却水路的流量是否为零，若为零，则返回所述步骤S1；若不为零，则发出所述通断阀故障的报警；

S7，判断所述作业设备的内部温度是否高于第二阈值，若是，则发出所述冷却水路流量异常的报警；若否，则返回所述步骤S1。

2.根据权利要求1所述的冷却水路预警方法，其特征在于，在所述步骤S1之前，还包括：

S0，设置所述冷却水路流量异常的预警频率；所述冷却水路流量异常的预警次数在所述冷却水路维护后第一次开启时设定为零，在所述冷却水路重启时设定为重启前累加值；

在所述步骤S7中，判断所述作业设备的内部温度是否高于第二阈值，若是，则所述冷却水路流量异常的预警次数加1，并判断所述预警次数是否大于所述预警频率，若是，则发出所述冷却水路流量异常的报警；若否，则返回所述步骤S1。

3.根据权利要求1所述的冷却水路预警方法，其特征在于，在所述步骤S4中，判断所述冷却水路的流量是否低于正常值，且低于正常值的时间是否超出设定时间；

若低于正常值，且低于正常值的时间超出设定时间，则判断所述冷却水路的流量是否为零，若为零，则发出所述通断阀故障的报警；若不为零，则进行所述步骤S5；

若未低于正常值；或者低于正常值，但低于正常值的时间未超出设定时间，则进行所述步骤S5。

4.根据权利要求3所述的冷却水路预警方法，其特征在于，所述正常值为3L/min；所述设定时间为3min。

5.根据权利要求1所述的冷却水路预警方法，其特征在于，所述作业设备为分子泵；

所述第一阈值为65℃-68℃。

6.根据权利要求5所述的冷却水路预警方法，其特征在于，所述第二阈值为70℃-73℃。

7.一种半导体加工设备中的冷却水路预警系统，在所述冷却水路上设置有通断阀；所述冷却水路包括用于控制所述通断阀的控制单元，其特征在于，所述冷却水路预警系统应用于权利要求1-6任意一项所述的冷却水路预警方法，所述冷却水路预警系统包括：

流量检测模块，设置在所述冷却水路上，用于检测所述冷却水路的流量；

流量接收模块，用于接收来自所述流量检测模块发送的所述冷却水路的流量；

开关量接收模块，用于接收来自所述控制单元发送的所述通断阀的控制信号；

控制模块，用于接收分别来自作业设备、所述开关量接收模块和所述流量接收模块发送的所述作业设备的内部温度、所述控制单元对所述通断阀的控制信号以及所述冷却水路的流量，并判断是否出现所述冷却水路流量异常、所述通断阀故障和所述控制单元故障中的至少一种情况；若是，则发出报警。