[发明专利]载体传输设备和方法有效
| 申请号： | 201810967226.7 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109427638B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李尚熙 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种载体传输设备包括运载工具，其包括沿被设置在半导体制造线的顶板上的行进轨道行进的行进部、和被联接至所述行进部以夹住载体且水平地移动，垂直地移动并旋转所述载体的转运部；以及缓冲单元，其被设置在邻近所述行进轨道处，所述缓冲单元具有多个槽，在所述槽上加载有通过所述运载工具传输的载体，其中所述转运部可以旋转所述载体，以使其垂直于所述运载工具的行进方向并将所述载体加载在所述槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 传输 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种载体传输设备，其包括：运载工具，其包括沿被设置在半导体制造线的顶板上的行进轨道行进的行进部和被联接至所述行进部以偏心地夹住所述载体的转运部，所述转运部用于水平地移动、垂直地移动和旋转所述载体；以及缓冲单元，其被设置在邻近所述行进轨道处，所述缓冲单元具有多个槽，所述槽装载由所述运载工具传输的载体，其中所述转运部旋转所述载体以使其垂直于所述运载工具的行进方向，并将所述载体装载到所述槽中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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